[發(fā)明專利]用于分批向內(nèi)裝載和向外卸載基底的真空處理設(shè)備及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710359308.9
• 申請日: 2017-05-19
• 公開（公告）號: CN107447199B
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 克里斯托夫·霍伊斯勒;拉爾夫·西伯特
• 申請（專利權(quán)）人: 馮·阿登納資產(chǎn)股份有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/50
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 王小衡;王朝輝

1.一種真空處理設(shè)備(100)，其具有：

裝卸腔室裝置(102)，該裝卸腔室裝置用于將基底(520)向內(nèi)裝載到處理腔室裝置(122)中，或用于將基底(520)從處理腔室裝置(122)向外卸載；以及

在裝卸腔室裝置(102)與處理腔室裝置(122)之間的轉(zhuǎn)運(yùn)腔室裝置(112)，所述轉(zhuǎn)運(yùn)腔室裝置用于在處理腔室裝置(122)中提供由分批借助于裝卸腔室裝置(102)向內(nèi)裝載的基底(520)構(gòu)成的連續(xù)序列的基底(520)，或用于將連續(xù)序列的基底(520)分開，從而借助于裝卸腔室裝置(102)將基底(520)分批向外卸載；

其中，轉(zhuǎn)運(yùn)腔室裝置(112)具有轉(zhuǎn)運(yùn)腔室，該轉(zhuǎn)運(yùn)腔室具有用于在轉(zhuǎn)運(yùn)腔室中容納基底(520)的轉(zhuǎn)運(yùn)腔室長度(LT)，以及

其中，裝卸腔室裝置(102)具有三個彼此鄰接的裝卸腔室(102a、102b、102c)，所述裝卸腔室被設(shè)置成，使其可分別單獨(dú)借助于閥裝置(104)分開，其中，裝卸腔室中的每個具有裝卸腔室長度(LS)，其中，裝卸腔室長度(LS)小于轉(zhuǎn)運(yùn)腔室長度(LT)50％；以及

閥裝置(104)，該閥裝置這樣地被設(shè)置，即在第一時間間隔中三個裝卸腔室中的第一裝卸腔室(102a)和第二裝卸腔室(102b)連接成第一共用的裝卸腔室(102a、102b)，在第二時間間隔中三個裝卸腔室中的第一裝卸腔室(102a)、第二裝卸腔室(102b)和第三裝卸腔室(102c)連接成第二共用的裝卸腔室(102a、102b、102c)，且在第三時間間隔中三個裝卸腔室中的第二裝卸腔室(102b)和第三裝卸腔室(102c)連接成第三共用的裝卸腔室(102b、102c)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空處理設(shè)備，其此外具有運(yùn)送系統(tǒng)，該運(yùn)送系統(tǒng)具有多個借助于驅(qū)動裝置被驅(qū)動的運(yùn)送輥，用于將真空處理設(shè)備(100)內(nèi)的基底(520)運(yùn)送通過裝卸腔室裝置(102)、轉(zhuǎn)運(yùn)腔室裝置(112)以及處理腔室裝置(122)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空處理設(shè)備，其中，驅(qū)動裝置這樣地被設(shè)置，即連續(xù)序列的基底(520)在處理腔室裝置(122)中均勻直線地被移動，且基底(520)在轉(zhuǎn)運(yùn)腔室裝置(112)中被加速移動。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空處理設(shè)備，其中，驅(qū)動裝置這樣地被設(shè)置，即在第一時間間隔中基底(520)被保持在第一共用的裝卸腔室(102a、102b)中，在第二時間間隔中基底(520)從第一共用的裝卸腔室(102a、102b)被運(yùn)送到第三共用的裝卸腔室(102b、102c)中，且在第三時間間隔中基底(520)被保持在第三共用的裝卸腔室(102b、102c)中。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空處理設(shè)備，其此外具有真空泵裝置，該真空泵裝置用于至少對裝卸腔室裝置(102)抽真空，其中，真空泵裝置這樣地被設(shè)置，即在第二時間間隔中第二共用的裝卸腔室(102a、102b、102c)被抽真空，而基底(520)從第一共用的裝卸腔室(102a、102b)被運(yùn)送到第三共用的裝卸腔室(102b、102c)中。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空處理設(shè)備，其此外具有用于對裝卸腔室裝置(102)進(jìn)行通風(fēng)的通風(fēng)裝置，其中，真空泵裝置和通風(fēng)裝置這樣地被設(shè)置，即在第三時間間隔中，第三共用的裝卸腔室(102b、102c)被抽真空或被抽成真空，而第一裝卸腔室(102a)通風(fēng)或被通風(fēng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空處理設(shè)備，其此外具有用于至少對裝卸腔室裝置(102)抽真空的真空泵裝置以及用于對裝卸腔室裝置(102)通風(fēng)的通風(fēng)裝置，其中，真空泵裝置和通風(fēng)裝置這樣地被設(shè)置，即為了向外卸載基底(520)，第三共用的裝卸腔室(102b、102c)通風(fēng)或被通風(fēng)，而第一裝卸腔室(102a)被抽真空或被抽成真空。