[發(fā)明專利]石英舟冷卻柜

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710355484.5
• 申請(qǐng)日: 2017-05-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106997862A
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-08-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳俊;張凱勝;姚偉忠
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 常州億晶光電科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 常州市英諾創(chuàng)信專利代理事務(wù)所(普通合伙)32258
• 代理人: 鄭云

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池片加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種石英舟冷卻柜。

背景技術(shù)

目前太陽(yáng)電池制程工藝中，在擴(kuò)散及PDA下片時(shí)，需將剛出爐的硅片由250℃降到常溫25℃，現(xiàn)有方式為暴露在車間環(huán)境中自然降溫，降至常溫后下片進(jìn)入下道工序，這種降溫方法的降溫時(shí)間長(zhǎng)，一輪降溫時(shí)間需35分鐘，降溫環(huán)境差，硅片容易受污染，造成不良片。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是：為了克服現(xiàn)有技術(shù)中硅片的降溫方法存在降溫時(shí)間長(zhǎng)，一輪降溫時(shí)間需35分鐘，降溫環(huán)境差，硅片容易受污染，造成不良片的問(wèn)題，提供一種石英舟冷卻柜。

本發(fā)明解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是：一種石英舟冷卻柜，包括柜體，所述柜體包括進(jìn)風(fēng)腔室、存風(fēng)腔室和冷卻腔室，所述進(jìn)風(fēng)腔室上開(kāi)設(shè)有進(jìn)風(fēng)口，所述進(jìn)風(fēng)口內(nèi)固定安裝有初效過(guò)濾器，所述進(jìn)風(fēng)腔室內(nèi)安裝有風(fēng)機(jī)，所述風(fēng)機(jī)的出氣口與所述存風(fēng)腔室連通，所述存風(fēng)腔室與所述冷卻腔室平行設(shè)置，所述存風(fēng)腔室與所述冷卻腔室之間開(kāi)設(shè)有吹風(fēng)口，所述吹風(fēng)口內(nèi)固定安裝有高效過(guò)濾器，所述冷卻腔室的上方開(kāi)設(shè)有排風(fēng)口，所述冷卻腔室上開(kāi)設(shè)有若干氣管接口，所述冷卻腔室內(nèi)設(shè)置有壓差表。

本發(fā)明在使用前，在氣管接口處接入氮?dú)獗茫瑢⒀b滿硅片的石英舟放置于冷卻柜中的隔板上，關(guān)閉柜門后運(yùn)行設(shè)備，風(fēng)機(jī)啟動(dòng)，向進(jìn)風(fēng)腔室內(nèi)吸風(fēng)，進(jìn)入進(jìn)風(fēng)腔室的氣體經(jīng)風(fēng)機(jī)后進(jìn)入存風(fēng)腔室，存風(fēng)腔室內(nèi)的氣流由吹風(fēng)口進(jìn)入冷卻腔室，氣流經(jīng)過(guò)硅片，帶走硅片熱量，由頂部排風(fēng)口排出；在進(jìn)風(fēng)口設(shè)有初效過(guò)濾，吹風(fēng)口設(shè)有高效過(guò)濾，確保送風(fēng)清潔。柜體裝有壓差表，用于觀察冷卻腔室內(nèi)的壓力，在冷卻腔室負(fù)壓時(shí)，向冷卻腔室內(nèi)充入氮?dú)猓估鋮s腔室保持正壓。

所述冷卻腔室內(nèi)固定安裝有若干用于存放石英舟的隔板，將石英舟放置在隔板上，可以放置較多的石英舟，提高本發(fā)明的冷卻柜的冷卻效率。

所述冷卻腔室柜門的邊框?yàn)?04不銹鋼，門芯為鋼化玻璃，透明的柜門，便于觀察柜體內(nèi)的石英舟上硅片的冷卻情況。

為了使柜體具有不同的高度，所述柜體底面的四個(gè)角上均固定安裝有可調(diào)底腳，使本發(fā)明的冷卻柜的用途更廣。

所述柜體底面的四個(gè)角上均固定安裝有腳輪，柜體底面安裝可以滾動(dòng)的滾輪，便于移動(dòng)本發(fā)明的冷卻柜。

本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明的石英舟冷卻柜，在使用前，在氣管接口處接入氮?dú)獗茫瑢⒀b滿硅片的石英舟放置于冷卻柜中的隔板上，關(guān)閉柜門后運(yùn)行設(shè)備，風(fēng)機(jī)啟動(dòng)，向進(jìn)風(fēng)腔室內(nèi)吸風(fēng)，進(jìn)入進(jìn)風(fēng)腔室的氣體經(jīng)風(fēng)機(jī)后進(jìn)入存風(fēng)腔室，存風(fēng)腔室內(nèi)的氣流由吹風(fēng)口進(jìn)入冷卻腔室，氣流經(jīng)過(guò)硅片，帶走硅片熱量，由頂部排風(fēng)口排出；在進(jìn)風(fēng)口設(shè)有初效過(guò)濾，吹風(fēng)口設(shè)有高效過(guò)濾，確保送風(fēng)清潔。柜體裝有壓差表，用于觀察冷卻腔室內(nèi)的壓力，在冷卻腔室負(fù)壓時(shí)，向冷卻腔室內(nèi)充入氮?dú)猓估鋮s腔室保持正壓；本發(fā)明縮短了硅片降溫時(shí)間，提供了硅片緩存空間，減少了硅片降溫時(shí)所受的污染，減少了不良片的產(chǎn)生。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明。

圖1是本發(fā)明的主視圖；

圖2是本發(fā)明的剖視圖。

圖中：1.柜體，2.進(jìn)風(fēng)腔室，3.存風(fēng)腔室，4.冷卻腔室，5.進(jìn)風(fēng)口，6.初效過(guò)濾器，7.風(fēng)機(jī)，8.吹風(fēng)口，9.高效過(guò)濾器，10.排風(fēng)口，11.氣管接口，12.隔板，13.邊框，14.門芯，15.可調(diào)底腳，16.腳輪。

具體實(shí)施方式

現(xiàn)在結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。這些附圖均為簡(jiǎn)化的示意圖，僅以示意方式說(shuō)明本發(fā)明的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本發(fā)明有關(guān)的構(gòu)成。

如圖1所示的一種石英舟冷卻柜，包括柜體1，所述柜體1包括進(jìn)風(fēng)腔室2、存風(fēng)腔室3和冷卻腔室4，所述進(jìn)風(fēng)腔室2上開(kāi)設(shè)有進(jìn)風(fēng)口5，所述進(jìn)風(fēng)口5內(nèi)固定安裝有初效過(guò)濾器6，所述進(jìn)風(fēng)腔室2內(nèi)安裝有風(fēng)機(jī)7，如圖2所示，所述風(fēng)機(jī)7的出氣口與所述存風(fēng)腔室3連通，所述存風(fēng)腔室3與所述冷卻腔室4平行設(shè)置，所述存風(fēng)腔室3與所述冷卻腔室4之間開(kāi)設(shè)有吹風(fēng)口8，所述吹風(fēng)口8內(nèi)固定安裝有高效過(guò)濾器9，所述冷卻腔室4的上方開(kāi)設(shè)有排風(fēng)口10，所述冷卻腔室4上開(kāi)設(shè)有若干氣管接口11，所述冷卻腔室4內(nèi)設(shè)置有壓差表，所述冷卻腔室4內(nèi)固定安裝有若干用于存放石英舟的隔板12，將石英舟放置在隔板12上，可以放置較多的石英舟，提高本發(fā)明的冷卻柜的冷卻效率。

所述冷卻腔室4柜門的邊框13為304不銹鋼，門芯14為鋼化玻璃，透明的柜門，便于觀察柜體1內(nèi)的石英舟上硅片的冷卻情況。