[發明專利]石英舟冷卻柜

在審

• 申請號: 201710355484.5
• 申請日: 2017-05-19
• 公開（公告）號: CN106997862A
• 公開（公告）日: 2017-08-01
• 發明（設計）人: 吳俊;張凱勝;姚偉忠
• 申請（專利權）人: 常州億晶光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 常州市英諾創信專利代理事務所(普通合伙)32258
• 代理人: 鄭云

1.一種石英舟冷卻柜，其特征在于：包括柜體(1)，所述柜體(1)包括進風腔室(2)、存風腔室(3)和冷卻腔室(4)，所述進風腔室(2)上開設有進風口(5)，所述進風口(5)內固定安裝有初效過濾器(6)，所述進風腔室(2)內安裝有風機(7)，所述風機(7)的出氣口與所述存風腔室(3)連通，所述存風腔室(3)與所述冷卻腔室(4)平行設置，所述存風腔室(3)與所述冷卻腔室(4)之間開設有吹風口(8)，所述吹風口(8)內固定安裝有高效過濾器(9)，所述冷卻腔室(4)的上方開設有排風口(10)，所述冷卻腔室(4)上開設有若干氣管接口(11)，所述冷卻腔室(4)內設置有壓差表。

2.如權利要求1所述的石英舟冷卻柜，其特征在于：所述冷卻腔室(4)內固定安裝有若干用于存放石英舟的隔板(12)。

3.如權利要求1所述的石英舟冷卻柜，其特征在于：所述冷卻腔室(4)柜門的邊框(13)為不銹鋼，門芯(14)為鋼化玻璃。

4.如權利要求1所述的石英舟冷卻柜，其特征在于：所述柜體(1)底面的四個角上均固定安裝有可調底腳(15)。

5.如權利要求1所述的石英舟冷卻柜，其特征在于：所述柜體(1)底面的四個角上均固定安裝有腳輪(16)。