[發明專利]納米壓印軟膜板生產機構

有效

• 申請號: 201710354494.7
• 申請日: 2017-05-18
• 公開（公告）號: CN108957945B
• 公開（公告）日: 2021-07-20
• 發明（設計）人: 劉曉成;史曉華
• 申請（專利權）人: 蘇州光舵微納科技股份有限公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 蘇州華博知識產權代理有限公司 32232
• 代理人: 黃麗莉

本發明公開一種納米壓印軟膜板生產機構，其包括：硬模板固定板，用于放置硬模板；環形定位圈，其設置于硬模板固定板的上方，與定位圈驅動裝置傳動連接，定位圈驅動裝置驅動環形定位圈升降。本發明納米壓印軟膜板生產機構結構簡單，生產效率高，有效提高軟模板的生產良率。

技術領域

本發明涉及軟模板制備裝置，具體涉及一種納米壓印軟膜板生產機構。

背景技術

納米壓印技術，是微納米器件制作工藝中的一個重要技術，納米壓印技術最早由Stephen Y Chou教授在1995年率先提出，這是一種不同與傳統光刻技術的全新圖形轉移技術。納米壓印技術的定義為：不使用光線或者輻照使光刻膠感光成形，而是直接在硅襯底或者其它襯底上利用物理學的機理構造納米尺寸圖形。

軟模板是一種簡單方便的納米壓印模板復制材料，通常由本體材料和固化劑按一定比例混合而成，去除氣泡后澆注在母模板表面，通過加熱固化成彈性硅橡膠材料的工作模板。

傳統的軟模板制備裝置結構簡單，通常為具有凹槽的器皿。將硬模板放置于凹槽內，再在硬模板表面注澆材料，形成軟模板，隨后人工采用工具將軟模板的邊緣翹起揭下。傳統的設備效率低下，制備出的軟模板良率低下。

發明內容

為了解決上述技術問題，本發明提出了一種納米壓印軟膜板生產機構，其結構簡單，生產效率高，有效提高軟模板的生產良率。

為了達到上述目的，本發明的技術方案如下：

納米壓印軟膜板生產機構包括：硬模板固定板，用于放置硬模板；環形定位圈，其設置于硬模板固定板的上方，與定位圈驅動裝置傳動連接，定位圈驅動裝置驅動環形定位圈升降。

本發明結構簡單，利用具有升降功能的環形定位圈與硬模板固定板實現軟模板的制備，生產效率高，且制備出的軟模板良率高。

在上述技術方案的基礎上，還可做如下改進：

作為優選的方案，還包括加熱組件，加熱組件用于給硬模板固定板進行加熱。

采用上述優選的方案，有效實現軟模板的熱固化。

作為優選的方案，還包括冷卻組件，冷卻組件用于給硬模板固定板進行冷卻。

采用上述優選的方案，對固化后的軟模板進行冷卻。

作為優選的方案，加熱組件為設置于硬模板固定板下方的加熱板，冷卻組件為設置于加熱板內部的一個或多個冷卻孔，冷卻孔通過連接管與外部水源連接。

采用上述優選的方案，結構簡單，安裝便捷。

作為優選的方案，定位圈驅動裝置通過導桿和套設于導桿上的導套與環形定位圈傳動連接。

采用上述優選的方案，環形定位圈升降更穩定。

作為優選的方案，環形定位圈包括壓環以及與壓環下表面接觸的抗沾圈。

采用上述優選的方案，壓環主要提供重量，抗沾圈內壁與軟模板接觸，抗沾的特性使軟模板的脫模更順利。

作為優選的方案，還包括吸附組件，吸附組件為設置于硬模板固定板上的多個吸附孔以及與吸附孔連接的抽真空裝置。

采用上述優選的方案，對設置于硬模板固定板上的硬模板進行吸附固定，保證軟模板的良率。

作為優選的方案，多個吸附孔均勻分布于硬模板固定板的置物面，且硬模板固定板置物面中心處的吸附孔孔徑小于硬模板固定板置物面邊緣處的吸附孔孔徑。

采用上述優選的方案，便于軟模板實現脫模，脫模效果好。

作為優選的方案，多個吸附孔分布于硬模板固定板的置物面，且吸附孔的分布密度從硬模板固定板置物面的中心向邊緣逐漸增大。