[發(fā)明專利]納米壓印軟膜板生產(chǎn)機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710354494.7
• 申請(qǐng)日: 2017-05-18
• 公開（公告）號(hào): CN108957945B
• 公開（公告）日: 2021-07-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉曉成;史曉華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州光舵微納科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/00
• 分類號(hào): G03F7/00
• 代理公司: 蘇州華博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32232
• 代理人: 黃麗莉

1.納米壓印軟膜板生產(chǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括：

硬模板固定板，用于放置硬模板；

環(huán)形定位圈，其設(shè)置于所述硬模板固定板的上方，與定位圈驅(qū)動(dòng)裝置傳動(dòng)連接，所述定位圈驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述環(huán)形定位圈升降；

吸附組件，所述吸附組件為設(shè)置于所述硬模板固定板上的多個(gè)吸附孔以及與所述吸附孔連接的抽真空裝置；

多個(gè)所述吸附孔均勻分布于所述硬模板固定板的置物面，且所述硬模板固定板置物面中心處的吸附孔孔徑小于所述硬模板固定板置物面邊緣處的吸附孔孔徑；

或，多個(gè)所述吸附孔分布于所述硬模板固定板的置物面，且所述吸附孔的分布密度從所述硬模板固定板置物面的中心向邊緣逐漸增大。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米壓印軟膜板生產(chǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括加熱組件，所述加熱組件用于給所述硬模板固定板進(jìn)行加熱。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的納米壓印軟膜板生產(chǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括冷卻組件，所述冷卻組件用于給所述硬模板固定板進(jìn)行冷卻。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的納米壓印軟膜板生產(chǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述加熱組件為設(shè)置于所述硬模板固定板下方的加熱板，所述冷卻組件為設(shè)置于所述加熱板內(nèi)部的一個(gè)或多個(gè)冷卻孔，所述冷卻孔通過(guò)連接管與外部水源連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的納米壓印軟膜板生產(chǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述定位圈驅(qū)動(dòng)裝置通過(guò)導(dǎo)桿和套設(shè)于導(dǎo)桿上的導(dǎo)套與所述環(huán)形定位圈傳動(dòng)連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的納米壓印軟膜板生產(chǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述環(huán)形定位圈包括壓環(huán)以及與所述壓環(huán)下表面接觸的抗沾圈。