[發明專利]納米壓印軟膜板生產機構有效
| 申請號： | 201710354494.7 | 申請日： | 2017-05-18 |
| 公開（公告）號： | CN108957945B | 公開（公告）日： | 2021-07-20 |
| 發明（設計）人： | 劉曉成;史曉華 | 申請（專利權）人： | 蘇州光舵微納科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/00 | 分類號： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 蘇州華博知識產權代理有限公司 32232 | 代理人： | 黃麗莉 |
| 地址： | 215500 江蘇省蘇州市常熟經*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 納米 壓印 軟膜板 生產 機構 | ||
1.納米壓印軟膜板生產機構，其特征在于，包括：
硬模板固定板，用于放置硬模板；
環形定位圈，其設置于所述硬模板固定板的上方，與定位圈驅動裝置傳動連接，所述定位圈驅動裝置驅動所述環形定位圈升降；
吸附組件，所述吸附組件為設置于所述硬模板固定板上的多個吸附孔以及與所述吸附孔連接的抽真空裝置；
多個所述吸附孔均勻分布于所述硬模板固定板的置物面，且所述硬模板固定板置物面中心處的吸附孔孔徑小于所述硬模板固定板置物面邊緣處的吸附孔孔徑；
或，多個所述吸附孔分布于所述硬模板固定板的置物面，且所述吸附孔的分布密度從所述硬模板固定板置物面的中心向邊緣逐漸增大。
2.根據權利要求1所述的納米壓印軟膜板生產機構，其特征在于，還包括加熱組件，所述加熱組件用于給所述硬模板固定板進行加熱。
3.根據權利要求2所述的納米壓印軟膜板生產機構，其特征在于，還包括冷卻組件，所述冷卻組件用于給所述硬模板固定板進行冷卻。
4.根據權利要求3所述的納米壓印軟膜板生產機構，其特征在于，所述加熱組件為設置于所述硬模板固定板下方的加熱板，所述冷卻組件為設置于所述加熱板內部的一個或多個冷卻孔，所述冷卻孔通過連接管與外部水源連接。
5.根據權利要求4所述的納米壓印軟膜板生產機構，其特征在于，所述定位圈驅動裝置通過導桿和套設于導桿上的導套與所述環形定位圈傳動連接。
6.根據權利要求5所述的納米壓印軟膜板生產機構，其特征在于，所述環形定位圈包括壓環以及與所述壓環下表面接觸的抗沾圈。
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