[發(fā)明專利]基底片存儲器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710352551.8
• 申請日: 2017-05-18
• 公開（公告）號: CN106945916B
• 公開（公告）日: 2018-08-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳功
• 申請（專利權(quán)）人: 上海大族富創(chuàng)得科技有限公司
• 主分類號: B65D25/02
• 分類號: B65D25/02;B65D25/38
• 代理公司: 上海翰信知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31270
• 代理人: 張維東

本發(fā)明揭示了一種基底片存儲器，包括承載機構(gòu)和輸送機構(gòu)，承載機構(gòu)具有多個凹槽，多個凹槽沿著承載機構(gòu)的長度方向陣列設(shè)置，其中，每個凹槽分別對應(yīng)一個基底片，輸送機構(gòu)用來帶動凹槽沿著承載機構(gòu)的長度方向移動，便于基底片的抓取或存放，通過凹槽將基底片分隔開來，有效避免了基底片的相互吸附，造成連帶情況的出現(xiàn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及存儲器，尤其涉及一種用于晶圓片的存儲器。

背景技術(shù)

晶圓片在生產(chǎn)線上經(jīng)過工藝制造后，例如經(jīng)過化學(xué)研磨、清洗、腐蝕清洗或者表面涂布等工藝，需要根據(jù)晶圓片的厚度、大小或表面狀況等條件以分類存放到相應(yīng)存儲器中，此后，在滿足一定數(shù)量后再從該存儲器中取出，并將分類后的晶圓片轉(zhuǎn)入運輸載具，進入下一步工序。

在現(xiàn)有技術(shù)中，位于存儲器內(nèi)的晶圓片之間會直接接觸，因此造成相互污染，以及在存取過程中會造成晶圓片的磨損，無法滿足晶圓片獨立存放、不可有任何接觸的功能要求。另外，各晶圓片之間由于直接接觸，因此晶圓片會相互吸附，在抓取過程中容易造成連帶情況，連帶發(fā)生時晶圓片計數(shù)將打亂，以及在抓取過程中連帶發(fā)生后又掉落會造成產(chǎn)品損壞。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明解決上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足和問題的技術(shù)方案是：提供了一種防止基底片相互吸附的存儲器。

為達到以上目的，本發(fā)明提供了一種基底片存儲器，包括：

承載機構(gòu)，所述承載機構(gòu)具有多個凹槽，多個所述凹槽沿著所述承載機構(gòu)的長度方向陣列設(shè)置，其中，每個所述凹槽分別對應(yīng)一個基底片；

輸送機構(gòu)，所述輸送機構(gòu)用來帶動所述凹槽沿著所述承載機構(gòu)的長度方向移動。

進一步，所述承載機構(gòu)為齒形皮帶，所述齒形皮帶的齒槽為所述凹槽。

進一步，還包括兩個滾筒、一個安裝架和一個固定架，所述安裝架的一端固定在所述固定架上，所述安裝架的另一端為自由端，所述安裝架的兩端分別設(shè)置有一所述滾筒，兩個所述滾筒之間通過所述齒形皮帶傳動連接，所述齒形皮帶的齒槽朝外設(shè)置。

進一步，所述齒形皮帶的兩面分別設(shè)置有齒槽，其中，所述齒形皮帶一面上的齒槽與所述滾筒嚙合，另一面上的齒槽與基底片對應(yīng)。

進一步，所述輸送機構(gòu)包括動力裝置、執(zhí)行機構(gòu)和底板，所述執(zhí)行機構(gòu)的一端連接所述動力裝置，另一端穿過所述固定架與所述底板連接，所述底板與所述齒形皮帶連接，所述動力裝置帶動所述執(zhí)行機構(gòu)伸縮，進而帶動所述齒形皮帶轉(zhuǎn)動。

進一步，所述輸送機構(gòu)包括動力裝置，所述動力裝置與所述滾筒連接，所述動力裝置帶動所述滾筒轉(zhuǎn)動，進而帶動所述齒形皮帶轉(zhuǎn)動。

進一步，所述基底片為晶圓片。

進一步，所述晶圓片呈方形，呈方形的所述晶圓片每一邊分別至少對應(yīng)一個所述承載機構(gòu)。

進一步，呈方形的所述晶圓片每一邊分別對應(yīng)兩個所述承載機構(gòu)。

進一步，所述安裝架和所述固定架之間加裝有墊片，并通過緊固件固定。

據(jù)優(yōu)選實施例，本發(fā)明提供了如下優(yōu)點：

本發(fā)明通過凹槽與晶圓片對應(yīng)，有效避免了晶圓片之間的污染和磨損，因此提高了晶圓片的質(zhì)量。還有，防止了晶圓片之間相互吸附而造成計數(shù)錯誤，以及避免了在抓取過程中因吸附晶圓片掉落所造成的生產(chǎn)線混亂，因此大大提高了生產(chǎn)線的工作效率。

以下結(jié)合附圖及實施例進一步說明本發(fā)明。

附圖說明

圖1為本發(fā)明所述基底片存儲器第一實施例的立體圖；

圖2為圖1應(yīng)用于晶圓片的示意圖；

圖3為圖1的主視圖；