[發明專利]基底片存儲器

有效

• 申請號: 201710352551.8
• 申請日: 2017-05-18
• 公開（公告）號: CN106945916B
• 公開（公告）日: 2018-08-31
• 發明（設計）人: 吳功
• 申請（專利權）人: 上海大族富創得科技有限公司
• 主分類號: B65D25/02
• 分類號: B65D25/02;B65D25/38
• 代理公司: 上海翰信知識產權代理事務所(普通合伙) 31270
• 代理人: 張維東

1.一種基底片存儲器，其特征在于，包括：

承載機構，所述承載機構具有多個凹槽(101)，多個所述凹槽(101)沿著所述承載機構的長度方向陣列設置，其中，每個所述凹槽(101)分別對應一個基底片；

輸送機構，所述輸送機構用來帶動所述凹槽(101)沿著所述承載機構的長度方向移動；

其中，所述承載機構為齒形皮帶(100)，所述齒形皮帶(100)的齒槽為所述凹槽(101)；

還包括兩個滾筒(300)、一個安裝架(200)和一個固定架(600)，所述安裝架(200)的一端固定在所述固定架(600)上，所述安裝架(200)的另一端為自由端，所述安裝架(200)的兩端分別設置有一所述滾筒(300)，兩個所述滾筒(300)之間通過所述齒形皮帶(100)傳動連接，所述齒形皮帶(100)的齒槽朝外設置；

所述輸送機構包括動力裝置、執行機構(500)和底板(400)，所述執行機構(500)的一端連接所述動力裝置，另一端穿過所述固定架(600)與所述底板(400)連接，所述底板(400)與所述齒形皮帶(100)連接，所述動力裝置帶動所述執行機構(500)伸縮，進而帶動所述齒形皮帶(100)轉動；

所述基底片為晶圓片(700)；

所述晶圓片(700)呈方形，呈方形的所述晶圓片(700)每一邊分別至少對應一個所述承載機構。

2.如權利要求1所述的基底片存儲器，其特征在于，所述齒形皮帶(100)的兩面分別設置有齒槽，其中，所述齒形皮帶(100)一面上的齒槽與所述滾筒(300)嚙合，另一面上的齒槽與基底片對應。

3.如權利要求1所述的基底片存儲器，其特征在于，呈方形的所述晶圓片(700)每一邊分別對應兩個所述承載機構。

4.如權利要求1所述的基底片存儲器，其特征在于，所述安裝架(200)和所述固定架(600)之間加裝有墊片(900)，并通過緊固件(800)固定。