[發(fā)明專利]照明裝置及檢查裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710348546.X | 申請日： | 2017-05-17 |
| 公開（公告）號： | CN107390449A | 公開（公告）日： | 2017-11-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 渡邊健一 | 申請（專利權(quán)）人： | JUKI株式會社 |
| 主分類號： | G03B15/02 | 分類號： | G03B15/02;G03B21/00 |
| 代理公司： | 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11112 | 代理人： | 何立波,張?zhí)焓?/td> |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 照明 裝置 檢查 | ||
1.一種照明裝置，其對拍攝裝置的拍攝對象進(jìn)行照明，
該照明裝置的特征在于，具有：
投影器，其照射光；以及
光學(xué)系統(tǒng)，其將來自所述投影器的光引導(dǎo)至所述拍攝對象，
能夠?qū)⑺鐾队捌鞯墓馇袚Q為有投影圖案的投影光和無投影圖案的照明光。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的照明裝置，其特征在于，
所述光學(xué)系統(tǒng)將來自所述投影器的光從與所述拍攝裝置的光軸同軸的方向引導(dǎo)至所述拍攝對象。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的照明裝置，其特征在于，
所述投影器投影所述拍攝裝置的校準(zhǔn)用的測試圖而作為投影圖案。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的照明裝置，其特征在于，
所述投影器是DLP投影器，
利用全部DMD元件一律地使來自光源的光反射，照射無投影圖案的照明光。
5.一種檢查裝置，其特征在于，具有：
權(quán)利要求1至權(quán)利要求4中任一項(xiàng)所述的照明裝置；
拍攝裝置，其對利用所述照明裝置照明的拍攝對象進(jìn)行拍攝；以及
控制裝置，其基于利用所述拍攝裝置拍攝出的拍攝圖像，對拍攝對象進(jìn)行檢查。
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