[發(fā)明專利]一種柔性薄膜晶體管及其制備方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710344614.5
• 申請(qǐng)日: 2017-05-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107204374A
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-09-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉翔
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L29/786
• 分類號(hào): H01L29/786;H01L21/336
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙)44300
• 代理人: 黃威

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種柔性薄膜晶體管及其制造方法。

背景技術(shù)

柔性薄膜晶體管因其體積薄、重量輕、功耗低、柔性可彎折和耐沖擊性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)，在各種大、中、小尺寸的產(chǎn)品上得到廣泛應(yīng)用，幾乎涵蓋了當(dāng)今信息社會(huì)的主要電子產(chǎn)品，如：手機(jī)、車載顯示、電子書(shū)等，具有非常廣闊的應(yīng)用前景。

然而，現(xiàn)有的制作柔性薄膜晶體管一般在柔性基底上直接形成薄膜晶體管，而柔性基底一般為聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚醚砜樹(shù)脂(PES)、聚酰亞胺(PI)等材料，薄膜晶體管一般通過(guò)透明導(dǎo)電薄膜沉積而成；由于透明導(dǎo)電薄膜與柔性基底的粘合性較差，當(dāng)進(jìn)行彎曲時(shí)容易造成柔性基底與透明導(dǎo)電薄膜分離，進(jìn)而造成各種顯示不良。另外，柔性基底的阻水汽性能較差，外界的空氣和水蒸氣很容易透過(guò)柔性基底滲透到器件中，直接影響到器件的性能，使器件的性能惡化。

故，有必要提供一種柔性薄膜晶體管及其制備方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種柔性薄膜晶體管及其制造方法，可以使得薄膜晶體管不易與柔性基底分離，進(jìn)而提高器件的顯示水平；并且可以有效提高器件的阻水汽性能。

本發(fā)明提供一種柔性薄膜晶體管，其包括：

柔性基底；

設(shè)置在所述柔性基底上的無(wú)機(jī)絕緣層；以及

設(shè)置在所述無(wú)機(jī)絕緣層上的薄膜晶體管；其中，

所述無(wú)機(jī)絕緣層朝向所述薄膜晶體管一側(cè)的表面設(shè)置有粗糙結(jié)構(gòu)。

在本發(fā)明的柔性薄膜晶體管中，所述無(wú)機(jī)絕緣層的厚度介于3000埃-8000埃之間。

在本發(fā)明的柔性薄膜晶體管中，所述無(wú)機(jī)絕緣層的材料為氧化物、氮化物或氮氧化合物。

在本發(fā)明的柔性薄膜晶體管中，所述粗糙結(jié)構(gòu)離散分布在所述無(wú)機(jī)絕緣層朝向所述薄膜晶體管一側(cè)的表面。

在本發(fā)明的柔性薄膜晶體管中，可通過(guò)對(duì)所述無(wú)機(jī)絕緣層朝向所述薄膜晶體管一側(cè)的表面進(jìn)行等離子體刻蝕，形成所述粗糙結(jié)構(gòu)。

在本發(fā)明的柔性薄膜晶體管中，所述粗糙結(jié)構(gòu)呈凹凸不平狀并與所述薄膜晶體管接觸。

依據(jù)本發(fā)明的上述目的，還提供一種柔性薄膜晶體管的制備方法，其包括：

柔性基底；

在所述柔性基底上形成無(wú)機(jī)絕緣層；

對(duì)所述無(wú)機(jī)絕緣層的表面進(jìn)行粗糙化處理，以形成粗糙結(jié)構(gòu)；以及，

在所述無(wú)機(jī)絕緣層上形成薄膜晶體管。

在本發(fā)明的柔性薄膜晶體管的制備方法中，所述粗糙結(jié)構(gòu)離散分布在所述無(wú)機(jī)絕緣層朝向所述薄膜晶體管一側(cè)的表面。

在本發(fā)明的柔性薄膜晶體管的制備方法中，可通過(guò)對(duì)所述無(wú)機(jī)絕緣層朝向所述薄膜晶體管一側(cè)的表面進(jìn)行等離子體刻蝕，形成所述粗糙結(jié)構(gòu)。

在本發(fā)明的柔性薄膜晶體管的制備方法中，所述粗糙結(jié)構(gòu)呈凹凸不平狀并與所述薄膜晶體管接觸。

本發(fā)明的柔性薄膜晶體管及其制備方法，通過(guò)在柔性基底上設(shè)置無(wú)機(jī)絕緣層，且該無(wú)機(jī)絕緣層朝向薄膜晶體管一側(cè)的表面設(shè)置有粗糙結(jié)構(gòu)，從而使得薄膜晶體管不易與柔性基底分離，進(jìn)而提高器件的顯示水平；并且可以有效提高器件的阻水汽性能。

為讓本發(fā)明的上述內(nèi)容能更明顯易懂，下文特舉優(yōu)選實(shí)施例，并配合所附圖式，作詳細(xì)說(shuō)明如下：

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖，通過(guò)對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式詳細(xì)描述，將使本發(fā)明的技術(shù)方案及其它有益效果顯而易見(jiàn)。

圖1為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例提供的柔性薄膜晶體管的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例提供的柔性薄膜晶體管的制造方法的流程示意圖。

具體實(shí)施方式

為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明所采取的技術(shù)手段及其效果，以下結(jié)合本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例及其附圖進(jìn)行詳細(xì)描述。顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。