[發明專利]一種硅片疊片裝置有效
| 申請號: | 201710340941.3 | 申請日: | 2017-05-16 |
| 公開(公告)號: | CN107093573B | 公開(公告)日: | 2023-10-13 |
| 發明(設計)人: | 楊虎;蘆偉;陳大偉;上官泉元 | 申請(專利權)人: | 常州比太科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683;H01L31/18 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 硅片 裝置 | ||
技術領域
本發明涉及一種疊垛裝置,特別涉及一種用于硅片干法制絨產線中的硅片在線自動疊片裝置。
背景技術
近些年來環保要求越來越高,化石能源的污染問題越來越受到重視,而且由于化石能源的不可再生性,尋求新的能源形式迫在眉睫。在眾多新型能源中,光伏發電技術脫穎而出,而光伏發電技術中硅片是其中的核心元件。生產太陽能硅片的工序繁多,其包括從前期的硅材料提純、鑄錠、開方、切片到后期的制絨、擴散、清洗、PECVD鍍膜、印刷、燒結等工序,在硅錠被切成硅片后,其還要經過很多工序處理才能使其成為有著發電功能的電池片。在生產電池片的工程中,硅片并不是在一條生產線上完成所有工藝流程的,有時需要對硅片進行轉運至下道工序甚至打包運輸至別的公司進行下一道工序的處理。硅片在做工藝時有時是在輸送機設備做工藝,也可能在專用的花籃里面做工藝,也可能是在平板上做相關的工藝,如果這些設備不是在一條流水線上完成,就需要將硅片運輸至下一道工序處理,為了節約運輸空間,節約運輸成本,將硅片疊成整齊的方塊狀無疑是最便于包裝運輸的。本裝置介紹了一種將硅片疊成方塊狀的裝置,其具有結構簡單,不會影響制絨表面且疊片效果良好的特點。
申請號為201410073827.5的中國發明專利一種動力鋰電池電池片的自動疊片生產線明公開了一種動力鋰電池電池片的自動疊片生產線,屬于電池片的制造,其結構包括隔膜自動上料裝置、極片自動上料裝置、動力輸送裝置、隔膜切斷裝置、麥臘片放卷裝置、熱合機、麥臘片收卷裝置和電池片自動入箱裝置,所述的隔膜自動上料裝置、動力輸送裝置、隔膜切斷裝置和麥臘片放卷裝置分別設置在隔膜上料支架上,所述的極片自動上料裝置包括三組,分別為兩組負極片自動上料裝置和一組正極片自動上料裝置,所述的隔膜自動上料裝置包括兩組,所述的兩組隔膜自動上料裝置分別設置在三組極片自動上料裝置之間。該發明是針對電池片生產而開發的自動疊片生產線,其具有獨立的疊片功能,結構復雜而不能與硅片制絨設備協同形成一體化的設備。
申請號為201410175471.6的中國發明專利公開了一種電池片供料疊片機構,屬于動力鋰電池制造領域,其結構包括工作臺支架、電池片供料機構、上料機械手、第一視覺檢測平臺、翻轉機械手、第二視覺檢測平臺、分揀機械手、靜電除塵器和耐壓檢測平臺,工作臺支架的下部設置有工作臺面板,上料機械手、第一視覺檢測平臺、翻轉機械手和第二視覺檢測平臺沿工作臺面板從前到后依次設置,分揀機械手包括第一分揀機械手和第二分揀機械手,在工作臺支架安裝第一分揀機械手的一側對接靜電除塵器,靜電除塵器的另一側對接耐壓檢測平臺,耐壓檢測平臺的上方安裝有第二分揀機械手。該發明同樣具有獨立的疊片功能,結構復雜而不能與硅片制絨設備協同形成一體化的設備。
申請號為201610964492.5的中國發明專利涉及一種電池片疊片裝置及疊片方法,包括多個疊片頭,所述疊片頭包括伸縮裝置及吸附裝置,所述吸附裝置安裝在伸縮裝置下方。一種疊片方法,采用上述疊片裝置。該電池片疊片裝置,通過多個疊片頭及疊片頭上吸附裝置的設置實現了多片電池片的同時吸取,通過伸縮裝置的設置實現了多片電池片同時吸取多片電池片后的單獨放片。該發明僅采用伸縮裝置及吸附裝置實現疊片,疊片功能單一且不能與干法制絨生產線形成協同作用,不適用于干法制絨過程的疊片需求,且該裝置如果用于硅片疊片,剛放下去時硅片之間有空氣行程的氣墊效應,會導致疊片最上層的硅片隨機亂換,疊片效果差,不能獲得較為整齊的疊片效果。
針對上述現有技術的不足,本發明介紹了一種將制絨完成后的硅片進行自動疊片的裝置,硅片可以按照設置的數量值進行自動疊片,之后可由人工對疊片后的硅片進行打包處理。
發明內容
為解決上述技術問題,本發明提供了一種硅片疊片裝置,其對接硅片輸送機構以將所述硅片輸送機構的輸送帶上的硅片取走并疊片, 其包括:取片機構、接片機構及傾斜機構;
所述取片機構包括氣動夾爪,由所述氣動夾爪控制開合并對稱設置的兩個接片夾爪,以及對應兩個所述接片夾爪中間位置設置的接近開關;
所述接片機構包括設置在兩個所述接片夾爪下方并與硅片平行的支撐底板,以及垂直設置在所述支撐底板邊緣的硅片擋板,由于接片夾爪與支撐底板之間具有一定高度間隙,利用硅片做自由落體運動,掉落的瞬間在上下硅片之間形成的氣墊作用對掉落硅片起到緩沖作用而避免損傷硅片制絨面絨毛;
所述傾斜機構包括連接在所述支撐底板底部的升降氣缸及轉軸,利用斜面自動定位的原理將掉落的硅片整齊疊放。
進一步的,還包括升降機構以驅動所述接片機構升降。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





