[發(fā)明專利]半導(dǎo)體激光裝置及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710339449.4
• 申請日: 2017-05-15
• 公開（公告）號: CN107394578B
• 公開（公告）日: 2019-09-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 北嶋久義
• 申請（專利權(quán)）人: 羅姆股份有限公司
• 主分類號: H01S5/024
• 分類號: H01S5/024
• 代理公司: 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 章蕾

本發(fā)明提供能夠改善波導(dǎo)構(gòu)造的溫度特性而實現(xiàn)穩(wěn)定的發(fā)光圖案及高輸出化的半導(dǎo)體激光裝置及其制造方法。半導(dǎo)體激光裝置(1)包括：n型披覆層(5)，積層在襯底(2)上；活性層(6)，積層在n型披覆層(5)上；p型披覆層(7)，積層在活性層(6)上；及多個波導(dǎo)構(gòu)造(8)，形成在p型披覆層(7)上，具有俯視喇叭形狀的隆起緣。在該構(gòu)成中，在相互相鄰的波導(dǎo)構(gòu)造(8)之間形成有分?jǐn)鄻?gòu)造(29)，該分?jǐn)鄻?gòu)造(29)包括：槽(30)，分?jǐn)嗷钚詫?6)；及散熱材料(34)，填充在該槽(30)中，且具有比半導(dǎo)體層(4)的熱導(dǎo)率高的熱導(dǎo)率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體激光裝置及其制造方法。

背景技術(shù)

近年，在半導(dǎo)體激光裝置領(lǐng)域，要求產(chǎn)生的光(激光)高輸出化，伴隨此提出有各種形態(tài)。例如，作為可實現(xiàn)高輸出化的一個形態(tài)，在專利文獻(xiàn)1中揭示有具備具有俯視喇叭形狀的隆起緣的波導(dǎo)構(gòu)造的半導(dǎo)體激光裝置。

[現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)1]日本專利特開平8－23133號公報

發(fā)明內(nèi)容

[發(fā)明所要解決的問題]

本發(fā)明者為了實現(xiàn)半導(dǎo)體激光裝置的進(jìn)一步高輸出化，而研究在同一襯底上設(shè)置多個具有俯視喇叭形狀的隆起緣的波導(dǎo)構(gòu)造的構(gòu)成。認(rèn)為其原因在于，通過設(shè)置多個波導(dǎo)構(gòu)造，在理論上能夠?qū)?yīng)于波導(dǎo)構(gòu)造的個數(shù)而使光輸出成比例地增加。

然而，在設(shè)置有多個波導(dǎo)構(gòu)造的構(gòu)成中，由于這些多個波導(dǎo)構(gòu)造同時振蕩，因此在一個波導(dǎo)構(gòu)造產(chǎn)生的熱傳導(dǎo)至鄰接的波導(dǎo)構(gòu)造的結(jié)果，有因熱干涉而波導(dǎo)構(gòu)造成為超過動作溫度的高溫的顧慮。當(dāng)波導(dǎo)構(gòu)造成為高溫時，會引起半導(dǎo)體激光裝置的光輸出下降。此外，當(dāng)在多個波導(dǎo)構(gòu)造間產(chǎn)生溫度差時，在其等之間光輸出產(chǎn)生不均，結(jié)果無法獲得設(shè)計的光輸出，也會損害發(fā)光圖案的穩(wěn)定性。

由此，本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠改善波導(dǎo)構(gòu)造的溫度特性而實現(xiàn)穩(wěn)定的發(fā)光圖案及高輸出化的半導(dǎo)體激光裝置及其制造方法。

[解決問題的技術(shù)手段]

本發(fā)明的半導(dǎo)體激光裝置包括：襯底；第一導(dǎo)電型的披覆層，積層在襯底上；活性層，積層在所述第一導(dǎo)電型的披覆層上；第二導(dǎo)電型的披覆層，積層在所述活性層上；及多個波導(dǎo)構(gòu)造，形成在所述第二導(dǎo)電型的披覆層上，且具有俯視喇叭形狀的隆起緣。在該構(gòu)成中，在相互相鄰的所述波導(dǎo)構(gòu)造之間形成有分?jǐn)鄻?gòu)造，該分?jǐn)鄻?gòu)造包括：槽，分?jǐn)嗨龌钚詫樱患吧岵牧希畛湓谠摬壑校揖哂斜人霭雽?dǎo)體層的熱導(dǎo)率高的熱導(dǎo)率。

[發(fā)明的效果]

本發(fā)明的半導(dǎo)體激光裝置設(shè)為如下構(gòu)成，即，在相互相鄰的波導(dǎo)構(gòu)造之間形成有分?jǐn)嗷钚詫拥姆謹(jǐn)鄻?gòu)造。分?jǐn)鄻?gòu)造包括：槽，分?jǐn)嗷钚詫樱患吧岵牧希畛湓谠摬壑校揖哂斜劝雽?dǎo)體層的熱導(dǎo)率高的熱導(dǎo)率。通過該分?jǐn)鄻?gòu)造，能夠使在多個波導(dǎo)構(gòu)造產(chǎn)生的熱在其等之間相互傳導(dǎo)，因此能夠抑制在多個波導(dǎo)構(gòu)造間產(chǎn)生溫度差。

即，通過分?jǐn)鄻?gòu)造，能夠使在多個波導(dǎo)構(gòu)造產(chǎn)生的熱散發(fā)(排熱)至外部，并且能夠使多個波導(dǎo)構(gòu)造接近于均熱狀態(tài)，即，在多個波導(dǎo)構(gòu)造間溫度差較少的狀態(tài)。由此，能夠良好地抑制在多個波導(dǎo)構(gòu)造間產(chǎn)生熱干涉。由此，能夠提供可實現(xiàn)穩(wěn)定的發(fā)光圖案及高輸出化的半導(dǎo)體激光裝置。

附圖說明

圖1是表示本發(fā)明的一實施方式的半導(dǎo)體激光裝置的立體圖。

圖2是表示圖1所示的波導(dǎo)構(gòu)造的若干個的放大俯視圖。

圖3是沿圖2所示的III-III線的縱剖視圖。

圖4是沿圖2所示的IV-IV線的縱剖視圖。

圖5是沿圖2所示的V-V線的縱剖視圖。