[發明專利]一種基板殘材檢測方法、裝置及系統

有效

• 申請號: 201710335385.0
• 申請日: 2017-05-12
• 公開（公告）號: CN107067421B
• 公開（公告）日: 2020-02-28
• 發明（設計）人: 張加勤
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;重慶京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G06T7/30
• 分類號: G06T7/30
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 郭潤湘

1.一種基板殘材檢測方法，其特征在于，包括：

當切割后的基板經過傳送通路后，采集所述傳送通路的實時圖像；

將采集到的傳送通路的實時圖像與第一基準圖像進行匹配對比，根據對比結果判斷所述傳送通路上是否存在基板殘材；其中，所述第一基準圖像為無基板殘材的傳送通路的圖像；

所述將采集到的傳送通路的實時圖像與第一基準圖像進行匹配對比，根據對比結果判斷傳送通路上是否存在基板殘材；包括以下步驟：

將第一基準圖像灰度化處理，生成第一基準圖像的像素灰度值矩陣：

其中，x和y分別為第一基準圖像中像素的行數和列數；G¹(x,y)為第一基準圖像中第x行、第y列的像素的灰度值；

將采集到的傳送通路的實時圖像定義為第一實時圖像，將所述第一實時圖像灰度化處理，生成第一實時圖像的像素灰度值矩陣：

其中，x和y分別為第一實時圖像中像素的行數和列數；H¹(x,y)為第一實時圖像中位于第x行、第y列的像素的灰度值；

從第一基準圖像的灰度值矩陣中截取一個M*N子矩陣G_MN，定義該子矩陣為第一基準子矩陣；

從第一實時圖像的灰度值矩陣中獲取與所述第一基準子矩陣相匹配的M*N子矩陣，定義該子矩陣為第一實時子矩陣；

對所述第一實時子矩陣與所述第一基準子矩陣進行誤差分析，根據所述誤差分析結果判斷所述傳送通路上是否存在基板殘材。

2.根據權利要求1所述的基板殘材檢測方法，其特征在于，所述從第一實時圖像的灰度值矩陣中獲取與第一基準子矩陣相匹配的M*N子矩陣；具體包括：

設定從第一實時圖像的灰度值矩陣中、以第m行第n列開始截取的M*N子矩陣為與第一基準子矩陣G_MN相匹配的M*N子矩陣，其中，1≤m+M≤x，1≤n+N≤y；

定義第一匹配函數：

其中，為矩陣中第i行第j列的元素，G_MN(i,j)為矩陣G_MN中第i行第j列的元素；

定義第一相關函數：

計算當第一相關函數R_(m,n)最接近1時m和n的數值，根據該m和n的數值獲得與所述第一基準子矩陣相匹配的M*N子矩陣

3.根據權利要求1所述的基板殘材檢測方法，其特征在于，將第一實時子矩陣與第一基準子矩陣進行誤差分析，根據所述誤差分析結果判斷所述傳送通路上是否存在基板殘材；具體包括：

定義第一單像素點絕對誤差：

其中，

定義第一目標函數，

設定第一目標函數閾值K¹，將第一目標函數與第一目標函數閾值K¹進行比較；

當所述第一目標函數大于第一目標函數閾值K¹時，判斷所述傳送通路上存在基板殘材；

當所述第一目標函數不大于第一目標函數閾值K¹時，判斷所述傳送通路上不存在基板殘材。

4.根據權利要求1～3任一項所述的基板殘材檢測方法，其特征在于，還包括：

采集切割后的基板經過傳送通路過程的實時圖像；

將采集到的基板經過傳送通路過程的實時圖像與第二基準圖像進行匹配對比，根據對比結果判斷基板上是否存在殘材；其中，所述第二基準圖像為切割后無殘材的基板經過傳送通路過程的圖像。