[發明專利]芯片切割系統及其控制電路

有效

• 申請號: 201710334858.5
• 申請日: 2017-05-12
• 公開（公告）號: CN108878310B
• 公開（公告）日: 2022-01-25
• 發明（設計）人: 范杰;段亦鋒
• 申請（專利權）人: 無錫華潤安盛科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京博思佳知識產權代理有限公司 11415
• 代理人: 林祥

1.一種芯片切割系統的控制電路，其特征在于，所述芯片切割系統包括發泡機以及與所述發泡機連接的劃片機，所述控制電路與所述芯片切割系統連接；其中，所述控制電路包括：第一繼電器、第二繼電器、第三繼電器、監測裝置以及控制主板；其中，所述監測裝置用于將監測的劃片機工作所需參數輸出至所述控制主板；

所述第一繼電器、所述第二繼電器、所述控制主板以及所述監測裝置依次串聯形成控制回路；所述第三繼電器與所述第二繼電器電連接，所述第三繼電器的正極與所述第二繼電器的正極連接，所述第三繼電器的負極與所述第二繼電器的負極連接，所述第三繼電器失電斷開、得電閉合，所述第二繼電器失電閉合、得電斷開；

所述第一繼電器閉合時所述發泡機通電工作，在所述發泡機輸出的水溶劑的電阻率處于預設范圍內時，所述第三繼電器失電斷開，所述第二繼電器失電閉合，所述控制回路閉合，所述監測裝置將監測的所述劃片機工作所需參數輸出至所述控制主板，所述控制主板在接收到所述工作所需參數時控制所述劃片機進行切割工作；所述監測裝置為流量計，所述工作所需參數為所述劃片機的主軸冷卻水流量；

在所述電阻率超出所述預設范圍時，所述第三繼電器得電閉合，所述第二繼電器得電斷開，所述控制回路斷開，所述控制主板控制所述劃片機停止切割工作；

所述芯片切割系統還包括與所述第三繼電器電連接的第一報警器以及與所述控制主板電連接的第二報警器；

所述第三繼電器得電閉合時，所述第一報警器報警；

所述控制回路斷開時，所述第二報警器報警。

2.根據權利要求1所述的芯片切割系統的控制電路，其特征在于，所述第一繼電器包括第一觸點、第二觸點與第三觸點；

所述第二繼電器包括第四觸點、第五觸點與第六觸點；

所述第一觸點與所述監測裝置電連接，所述第三觸點與所述第五觸點電連接，所述第四觸點與所述控制主板電連接；

當所述第一繼電器閉合時，所述第一觸點與所述第三觸點吸合；

當所述第二繼電器失電閉合時，所述第四觸點與所述第五觸點吸合；

當所述第二繼電器得電斷開時，所述第四觸點與所述第六觸點吸合。

3.一種芯片切割系統，其特征在于，包括發泡機、與所述發泡機連接的劃片機以及權利要求1至2任一項所述的控制電路。

4.一種芯片切割系統，其特征在于，包括：發泡機與劃片機以及權利要求1至2任一項所述的控制電路；其中，

所述發泡機包括：用于容納超純水與發泡劑的腔體、位于所述腔體中的電阻率傳感器、與所述腔體連通的出水口、位于所述出水口的電磁閥以及與所述電磁閥電連接的第一控制板；

所述劃片機包括：與所述出水口連通的進水口、用于檢測所述進水口流量的流量計、與所述流量計電連接的第二控制板以及與所述第二控制板電連接的切割裝置；

所述電阻率傳感器與所述第一控制板電連接，用于檢測所述腔體中溶解有所述發泡劑的水溶劑的電阻率；

在所述電阻率超出預設范圍時，所述第一控制板控制所述電磁閥閉合，禁止所述出水口輸出所述水溶劑；

當所述進水口的流量低于預設閾值時，所述第二控制板控制所述切割裝置停止切割工作。