[發明專利]晶片封裝體與其制造方法有效
| 申請號: | 201710333092.9 | 申請日: | 2017-05-12 |
| 公開(公告)號: | CN107369695B | 公開(公告)日: | 2019-12-13 |
| 發明(設計)人: | 關欣;黃進清;鄭家明 | 申請(專利權)人: | 精材科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L27/146 | 分類號: | H01L27/146 |
| 代理公司: | 11277 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) | 代理人: | 劉新宇 |
| 地址: | 中國臺灣桃園市中*** | 國省代碼: | 中國臺灣;TW |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 晶片 封裝 與其 制造 方法 | ||
1.一種晶片封裝體,其特征在于,包含:
感測晶片,具有第一導電墊、感測元件以及相對的第一表面與第二表面,該感測元件位于該第一表面上且電性連接至該第一導電墊;
運算晶片,具有第二導電墊和運算元件;
保護層,環狀圍繞該感測晶片與該運算晶片,并暴露該感測晶片的該感測元件;
導電層,位于該感測晶片的該第二表面上,并延伸接觸該第一導電墊與該第二導電墊;以及
透明基板,位于該感測晶片的該第一表面上,并連結至該感測晶片與該運算晶片,其中該透明基板包含圍堰結構,該感測晶片通過該圍堰結構連結至該透明基板,該運算晶片通過平板結構連結至該透明基板。
2.根據權利要求1所述的晶片封裝體,其特征在于,該透明基板還包含第二圍堰結構,該運算晶片通過該第二圍堰結構連結至該透明基板。
3.根據權利要求1所述的晶片封裝體,其特征在于,還包含位于該感測晶片與該導電層之間和該運算晶片與該導電層之間的絕緣層。
4.根據權利要求1所述的晶片封裝體,其特征在于,還包含位于該導電層之上且電性連接至該導電層的外部導電連結。
5.一種制造晶片封裝體的方法,其特征在于,包含:
提供至少一晶片,該晶片具有導電墊以及相對的第一表面和第二表面;
粘結該晶片的該第一表面至載體基板;
在粘結該晶片的該第一表面至該載體基板之后,層壓保護層于該晶片的該第二表面上,并環狀圍繞該晶片;
去除一部分的該保護層以暴露至少一部分的該第一表面、部分的該第二表面或其組合;
于該晶片的該第二表面上形成導電層,且該導電層延伸接觸該導電墊;以及
形成該導電層之后,移除該載體基板。
6.根據權利要求5所述的方法,其特征在于,該至少一晶片為多個晶片。
7.根據權利要求6所述的方法,其特征在于,該多個晶片之一為感測晶片,該感測晶片具有位于該晶片的該第一表面之上的感測元件。
8.根據權利要求6所述的方法,其特征在于,該多個晶片之一為運算晶片,該運算晶片具有運算元件。
9.根據權利要求5所述的方法,其特征在于,還包含連結該晶片的該第一表面至透明基板。
10.根據權利要求9所述的方法,其特征在于,連結該晶片的該第一表面至該透明基板包含粘貼該晶片的該第一表面至位于該透明基板上的圍堰結構。
11.根據權利要求9所述的方法,其特征在于,連結該晶片的該第一表面至該透明基板包含粘貼一部分的該晶片的該第一表面至位于該透明基板上的圍堰結構,且連結另一部分的該晶片的該第一表面至平板結構,再粘結該平板結構至該透明基板。
12.一種制造晶片封裝體的方法,其特征在于,包含:
提供至少一晶片,該晶片具有導電墊以及相對的第一表面和第二表面;
粘結該晶片的該第二表面至載體基板;
在粘結該晶片的該第二表面至該載體基板之后,連結該晶片的該第一表面至透明基板;
層壓保護層于該晶片的該第二表面上,并環狀圍繞該晶片;
去除一部分的該保護層以暴露至少一部分的該第一表面、部分的該第二表面或其組合;以及
于該晶片的該第二表面上形成導電層,且該導電層延伸接觸該導電墊。
13.根據權利要求12所述的方法,其特征在于,于層壓該保護層之前,還包含移除該載體基板。
14.根據權利要求12所述的方法,其特征在于,還包含于該晶片與該導電層之間形成絕緣層。
15.根據權利要求12所述的方法,還包含于該導電層之上形成外部導電連結,且該外部導電連結電性連接至該導電層。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內或其上形成的多個半導體或其他固態組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結點的熱電元件的;包括有熱磁組件的





