[發明專利]玻璃膜剝離裝置

有效

• 申請號: 201710327827.7
• 申請日: 2014-09-12
• 公開（公告）號: CN107381199B
• 公開（公告）日: 2019-04-19
• 發明（設計）人: 伊東翔;佐佐木博
• 申請（專利權）人: 日本電氣硝子株式會社
• 主分類號: B65H41/00
• 分類號: B65H41/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 雒運樸

本發明涉及一種玻璃膜剝離裝置(1)，其具備使層疊在支承玻璃(SG)上的具有撓性的玻璃膜(GF)從支承玻璃(SG)剝離的刀片(3)，該玻璃膜剝離裝置(1)具備對與剝離玻璃膜(GF)時的阻力的大小對應地變化的特征值(Z)進行檢測的負載傳感器(4)以及運算裝置(5)、和根據檢測出的特征值(Z)與標準值(Z₀)對刀片(3)的移動速度(V)進行控制的判定電路(6)以及伺服電動機(7)。

本申請是申請人日本電氣硝子株式會社的國際申請日為2014年9月12日、國際申請號為PCT/JP2014/074202、進入中國國家階段的申請號為201480040414.5、發明名稱為“玻璃膜剝離裝置”的發明申請的分案申請。

技術領域

本發明涉及一種使層疊在支承體上的具有撓性的玻璃膜從該支承體剝離的玻璃膜剝離裝置。

背景技術

眾所周知，針對薄壁化(例如，板厚為300μm)的具有撓性的玻璃膜、以及支承該玻璃膜的支承玻璃，分別將成為相互接觸一側的面的接合面的表面粗糙度Ra設為2.0nm以下，使兩接合面直接地面接觸，從而將玻璃膜與支承玻璃層疊而形成玻璃膜層疊體。

根據該玻璃膜層疊體，通過與支承玻璃層疊，從而玻璃膜的容易撓曲的性質被暫時排除，并且玻璃膜與支承玻璃適度地密接而作為一體的構件進行動作。因此，玻璃產品的制造工序中的玻璃膜的操作極為簡便。

例如，液晶顯示器(LCD)用的玻璃膜在其制造工序中，在層疊于支承玻璃上而形成玻璃膜層疊體后，被實施透明電極的形成等各種處理。然后，為了裝入產品中，將處理結束后的玻璃膜從支承玻璃剝離。

這里，專利文獻1中雖然未將玻璃膜作為剝離的對象，然而公開了針對包含薄板玻璃基板、和經由樹脂層而支承該基板的支承玻璃基板的層疊體，用于使支承玻璃基板以及樹脂層(以下，將它們一并表示為支承基板)從薄板玻璃基板剝離的裝置。該文獻所公開的裝置具備：從層疊體的側方插入薄板玻璃基板與支承基板的彼此之間的刀片、和對支承基板的表面進行吸附的多個吸附墊。

而且，以因刀片的插入而局部剝離了的支承基板的端部為起點，吸附墊分別依次向從薄板玻璃基板分離的方向動作而拉伸支承基板，從而使該支承基板分階段地從薄板玻璃基板剝離。需要說明的是，從各個吸附墊作用于支承基板的拉力全部基于相同的方式，以通過提高與各墊連結的工作缸內的壓力而逐漸變大的方式受到控制。

在先技術文獻

專利文獻1：國際公開第2010/090147號

發明內容

發明所要解決的課題

然而，在利用上述的玻璃膜層疊體對玻璃膜實施了與加熱相伴的處理的情況下，存在該玻璃膜與支承玻璃的密接力產生分布不均的情況。例如，作為一個重要原因，可以認為是由于玻璃膜與支承玻璃密接的密接部的整個部位未被加熱至相同的溫度，導致玻璃膜層疊體的溫度分布不均。在產生了這樣的溫度分布不均的情況下，在加熱至相對高溫的部位與僅加熱至低溫的部位之間，作用于玻璃膜與支承玻璃之間的密接力的大小產生差異。

詳細而言，與其他的部位相比，在二者的密接部中的加熱至300℃左右的部位，作用于玻璃膜與支承玻璃之間的密接力大幅增大?？梢酝茰y這是由于，通過氫鍵密接的玻璃膜與支承玻璃因加熱而以300℃前后為界，向通過產生更強力的密接力的共價鍵密接的狀態轉移。

然后，由于部位之間產生的密接力的大小的差異，在將專利文獻1所公開的裝置用于從支承玻璃剝離玻璃膜的處理的情況下，會產生如下的問題。即，在該情況下，與玻璃膜與支承玻璃的密接力的大小在部位之間是否產生了差異無關地，各吸附墊對玻璃膜基于相同的方式依次施加拉力。