[發明專利]表面發射激光器裝置

有效

• 申請號: 201710324564.4
• 申請日: 2017-05-10
• 公開（公告）號: CN107370021B
• 公開（公告）日: 2021-05-07
• 發明（設計）人: 田澤耕明;梁吉鎬
• 申請（專利權）人: 斯坦雷電氣株式會社
• 主分類號: H01S5/42
• 分類號: H01S5/42
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 呂俊剛;楊薇

表面發射激光器裝置。提供了包括多個表面發射激光器元件并且能夠顯著減少光的串擾和暗線的形成的表面發射激光器裝置。該表面發射激光器裝置包括：安裝基板；表面發射激光器陣列，所述表面發射激光器陣列包括在所述安裝基板上并排布置的多個表面發射激光器元件；多個光吸收層，所述多個光吸收層分別形成在所述多個表面發射激光器元件上，并且各包括開口；以及多個波長轉換板，所述多個波長轉換板分別形成在所述多個光吸收層上，并且各包括熒光板和覆蓋所述熒光板的側面的光反射膜。

技術領域

本發明涉及包括垂直腔表面發射激光器(VCSEL)的表面發射激光器裝置。

背景技術

垂直腔表面發射激光器(下文中被簡稱為表面發射激光器)是具有用于導致光垂直于基板表面共振并且導致光在與基板表面垂直的方向上出射的結構的半導體激光器。在本領域中已知包括布置成陣列的多個半導體發光元件(諸如，表面發射激光器)的發光器件。例如，專利文獻1(日本特開第2009-134965號)公開了一種照明裝置，該照明裝置包括：多個發光元件，其安裝在基板上；框架，其設置有貫通孔(through hole)；以及熒光濾光板，其布置在貫通孔中。

發明內容

在并排布置多個發光元件的發光裝置中，例如，期望考慮到單獨地驅動多個發光元件，使光的串擾(即，從所述元件中的一個元件發射、在所述元件中的另一個元件(例如，正關閉的元件)的光學路徑上行進的光)盡可能地減少。另一方面，當驅動元件時，期望與彼此相鄰的元件之間的非發光區域對應的暗線的形成盡可能地減少。

當表面發射激光器是能夠以節省空間的方式形成陣列的高功率發光元件時，在陣列化表面發射激光器裝置中還更好地促進了上述串擾和暗線的減少。此外，表面發射激光器裝置的熱產生量大于例如發光二極管(LED)的熱產生量。因此，期望表面發射激光器裝置具有高散熱性能。

本發明鑒于上述問題而作出。本發明的目的是提供一種包括多個表面發射激光器元件并且能夠顯著減少光串擾和暗線形成的表面發射激光器裝置。本發明的另一個目的是提供包括多個表面發射激光器元件并且具有高散熱性能的表面發射激光器裝置。

根據本發明的表面發射激光器裝置包括：安裝基板；表面發射激光器陣列，其包括在所述安裝基板上并排布置的多個表面發射激光器元件；多個光吸收層，其分別形成在所述多個表面發射激光器元件上，并且各包括開口；以及多個波長轉換板，其分別形成在所述多個光吸收層上，并且各包括熒光板和覆蓋所述熒光板的側面的光反射膜。

附圖說明

圖1的(a)是示意性地例示根據第一實施方式的表面發射激光器裝置的透視圖，圖1的(b)是根據第一實施方式的表面發射激光器裝置的截面圖；

圖2的(a)是例示根據第一實施方式的表面發射激光器裝置中的發光區段(light-emitting segment)的截面圖；圖2的(b)是示意性地示出發光區段中的光的路徑的圖；以及

圖3是例示根據第二實施方式的表面發射激光器裝置的截面圖。

具體實施方式

現在，下面將詳細描述本發明的實施方式。

[第一實施方式]

圖1的(a)是示意性地例示根據第一實施方式的表面發射激光器裝置(下文中被簡稱為激光器裝置)10的透視圖。表面發射激光器裝置10具有表面發射激光器陣列(下文中被簡稱為激光器陣列)12，所述表面發射激光器陣列12包括在安裝基板11上并排布置的多個垂直腔表面發射激光器(VCSEL)元件(下文中被簡稱為表面發射激光器元件或激光器元件)12A。為了附圖清晰起見，在圖1的(a)中僅示出了激光器元件12A中的一些。