[發明專利]表面發射激光器裝置

有效

• 申請號: 201710324564.4
• 申請日: 2017-05-10
• 公開（公告）號: CN107370021B
• 公開（公告）日: 2021-05-07
• 發明（設計）人: 田澤耕明;梁吉鎬
• 申請（專利權）人: 斯坦雷電氣株式會社
• 主分類號: H01S5/42
• 分類號: H01S5/42
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 呂俊剛;楊薇

1.一種表面發射激光器裝置，所述表面發射激光器裝置包括：

安裝基板；

表面發射激光器陣列，所述表面發射激光器陣列包括在所述安裝基板上并排布置的多個表面發射激光器元件；

多個光吸收層，所述多個光吸收層分別形成在所述多個表面發射激光器元件上，并且所述光吸收層中的每一個層包括第一開口；以及

板狀波長轉換器，所述板狀波長轉換器包括多個波長轉換板，所述多個波長轉換板分別形成在所述多個光吸收層上，并且各包括熒光板和覆蓋所述熒光板的側面的光反射膜，其中，相鄰的波長轉換板經由所述熒光板的所述側面上的所述光反射膜彼此接觸以構成所述板狀波長轉換器，

其中，所述光反射膜覆蓋所述熒光板的底面并且具有第二開口，

其中，所述第一開口和所述第二開口在與所述安裝基板垂直的方向上同軸布置。

2.根據權利要求1所述的表面發射激光器裝置，其中，所述光吸收層在與所述表面發射激光器元件的界面處包括防反射層，其中，所述防反射層由電介質多層膜形成并且形成在所述第一開口中。

3.根據權利要求1所述的表面發射激光器裝置，其中，所述表面發射激光器元件在與所述光吸收層的界面處包括不平坦表面。

4.根據權利要求1所述的表面發射激光器裝置，其中，所述板狀波長轉換器中的相鄰的波長轉換板經由所述熒光板的所述側面上的所述光反射膜彼此接觸，其中，所述光反射膜包括形成在所述熒光板的所述側面和所述底面的反射金屬膜，以及形成在所述反射金屬膜上的保護金屬膜。

5.根據權利要求1所述的表面發射激光器裝置，其中，所述表面發射激光器元件和所述波長轉換板經由接合金屬層彼此接合，所述接合金屬層接合至保護金屬膜。

6.根據權利要求1所述的表面發射激光器裝置，其中，所述表面發射激光器陣列包括：

半導體結構層，所述半導體結構層對于所述表面發射激光器元件是共用的；

第一多層反射鏡和第二多層反射鏡，所述第一多層反射鏡和所述第二多層反射鏡夾著所述半導體結構層而彼此相對；以及

電流限制層，所述電流限制層由絕緣材料制成并且形成在所述第一多層反射鏡與所述半導體結構層之間，并且包括具有作為電路限制部的第三開口的分別與所述表面發射激光器元件對應的多個電流限制部，

其中，所述第三開口中的每一個與所述第一開口和所述第二開口同軸布置。

7.根據權利要求6所述的表面發射激光器裝置，其中：

所述激光器陣列包括所述表面發射激光器元件共用的半導體基板，所述波長轉換板經由所述光吸收層被接合到所述半導體基板的表面。

8.根據權利要求6所述的表面發射激光器裝置，其中，所述光吸收層的所述第一開口的開口直徑大于或等于所述電流限制層的所述第三開口的開口直徑。