[發明專利]鍍膜裝置及其控制方法、襯底保持件、和存儲介質

有效

• 申請號: 201710320234.8
• 申請日: 2017-05-09
• 公開（公告）號: CN107460445B
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發明（設計）人: 藤方淳平
• 申請（專利權）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54;H01L21/67
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 陳偉;王娟娟

1.一種鍍膜裝置，使用襯底保持件對襯底進行鍍膜，所述襯底保持件具有將襯底的被鍍膜面密封的彈性突出部，所述鍍膜裝置的特征在于，包括：

測量裝置，其構成為，通過在所述襯底的外周部的多個部位測量所述襯底與所述襯底保持件的所述彈性突出部物理性接觸時的、所述彈性突出部的擠壓量和施加于所述彈性突出部的載荷的至少一者，來測量所述彈性突出部的變形狀態；和

控制裝置，其構成為，基于在所述襯底的外周部的多個部位所測量的所述變形狀態，判定所述彈性突出部進行的密封是否正常。

2.如權利要求1所述的鍍膜裝置，其特征在于：

所述襯底保持件包括密封環保持件，該密封環保持件保持或者具有所述彈性突出部，

所述測量裝置包括距離傳感裝置，該距離傳感裝置測量至所述襯底保持件的密封環保持件的上表面的距離和至所述襯底的上表面的距離，

所述擠壓量根據至所述密封環保持件的上表面的距離與至所述襯底的上表面的距離之差來計算。

3.如權利要求2所述的鍍膜裝置，其特征在于：

所述控制裝置構成為，在滿足所述擠壓量的值為第一值以上且位于第一數值范圍內的第一條件的情況下，判定所述彈性突出部進行的密封為正常，對被所述襯底保持件保持的所述襯底實施鍍膜處理，在所述擠壓量的值不滿足所述第一條件的情況下，判定所述彈性突出部進行的密封為異常，不對被所述襯底保持件保持的襯底實施鍍膜處理。

4.如權利要求3所述的鍍膜裝置，其特征在于：

所述控制裝置構成為，在所述擠壓量的值不滿足所述第一條件的情況下，從所述襯底保持件拆下所述襯底，不使用所述襯底保持件。

5.如權利要求2至4中任一項所述的鍍膜裝置，其特征在于：

所述距離傳感裝置在所述襯底的外周部的整周進行掃描，

在所述襯底的外周部的整周計算所述擠壓量。

6.如權利要求2至4中任一項所述的鍍膜裝置，其特征在于：

在所述襯底的外周部配置有多個所述距離傳感裝置，

在多個所述距離傳感裝置的位置處計算所述擠壓量。

7.如權利要求1所述的鍍膜裝置，其特征在于：

所述襯底保持件包括密封環保持件，該密封環保持件保持或者具有所述彈性突出部，

所述測量裝置還包括按壓所述密封環保持件的按壓部件，所述按壓部件具有多個測力傳感器，

施加于所述彈性突出部的載荷在所述按壓部件按壓所述密封環保持件時由所述多個測力傳感器測量。

8.如權利要求7所述的鍍膜裝置，其特征在于：

所述控制裝置構成為，在滿足由所述多個測力傳感器測量的所述載荷的值為第二值以下且位于第二數值范圍內的第二條件的情況下，判定所述彈性突出部進行的密封為正常，對所述襯底實施鍍膜處理，在所述載荷的值不滿足所述第二條件的情況下，判定所述彈性突出部進行的密封為異常，不對被所述襯底保持件保持的襯底實施鍍膜處理。

9.如權利要求8所述的鍍膜裝置，其特征在于：

所述控制裝置構成為，在所述載荷的值不滿足所述第二條件的情況下，從所述襯底保持件拆下所述襯底，不使用所述襯底保持件。

10.如權利要求7所述的鍍膜裝置，其特征在于：

所述按壓部件由電動機驅動，

作為施加于所述彈性突出部的載荷，在由所述多個測力傳感器測量的所述載荷的值的基礎上，還考慮根據所述按壓部件按壓所述密封環保持件而下降到規定位置時的所述電動機的負載率來測量的載荷。