[發(fā)明專利]一種涂布機(jī)管路的清潔方法及清潔裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710318747.5
• 申請日: 2017-05-08
• 公開（公告）號: CN106964609B
• 公開（公告）日: 2019-02-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 許可
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: B08B9/027
• 分類號: B08B9/027
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

本發(fā)明提供一種涂布機(jī)管路的清潔方法及清潔裝置，所述方法包括：通過使用光阻溶劑對待清潔管路進(jìn)行清洗；待所述光阻溶劑清洗完畢后，使用清洗劑與惰性氣體合成后的第一二流體對待清潔管路進(jìn)行清洗；待所述第一二流體清洗完畢后，使用有機(jī)溶劑與惰性氣體合成后的第二二流體對待清潔管路進(jìn)行清洗；待所述第二二流體清洗完畢后，使用干燥潔凈空氣對待清潔管路進(jìn)行干燥。本發(fā)明通過先使用光阻溶劑進(jìn)行管路清潔，再依次使用清洗劑與惰性氣體及有機(jī)溶劑與惰性氣體合成的氣液二流體進(jìn)行管路清潔，最后使用干燥潔凈空氣進(jìn)行管路干燥。加強(qiáng)了清潔的效果，并且避免了光阻溶劑殘留，極大的提高了涂布機(jī)管路的清潔效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光學(xué)工藝技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種涂布機(jī)管路的清潔方法及清潔裝置。

背景技術(shù)

在液晶面板的制造過程中，需要利用涂布機(jī)的管路將光刻膠傳導(dǎo)至印刷噴頭處，再通過印刷噴頭將光刻膠噴印在基板上，待光刻膠自然擴(kuò)散均勻后，再通過加熱的方式使光刻膠成型。因此，涂布機(jī)管路的清潔度將直接影響產(chǎn)品的良率。

現(xiàn)有的涂布機(jī)管路的清潔方法，首先使用光阻溶劑(Solvent)將管路中的光刻膠沖洗干凈，然后再用干燥潔凈空氣將管路中殘留的光阻溶劑吹干，以便通入新的光刻膠。

然而，現(xiàn)有的涂布機(jī)管路的清潔方法需要反復(fù)多次清洗才可達(dá)到理想效果，管路清潔效率低，且光阻溶劑易殘留。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實施例提供一種涂布機(jī)管路的清潔方法及清潔裝置，可以解決光阻溶劑殘留的問題，提高涂布機(jī)管路的清潔效率。

本發(fā)明實施例提供了一種涂布機(jī)管路的清潔方法，包括：

通過使用光阻溶劑對待清潔管路進(jìn)行清洗；

待所述光阻溶劑清洗完畢后，使用清洗劑與惰性氣體合成后的第一二流體對待清潔管路進(jìn)行清洗；

待所述第一二流體清洗完畢后，使用有機(jī)溶劑與惰性氣體合成后的第二二流體對待清潔管路進(jìn)行清洗；

待所述第二二流體清洗完畢后，使用干燥潔凈空氣對待清潔管路進(jìn)行干燥。

本發(fā)明實施例還提供了一種涂布機(jī)管路的清潔裝置，包括待清潔管路、向所述待清潔管路提供光阻溶劑的第一清潔管路、向所述待清潔管路提供清洗劑的第二清潔管路、向所述待清潔管路提供惰性氣體的第三清潔管路、向所述待清潔管路提供有機(jī)溶劑的第四清潔管路及向所述待清潔管路提供干燥潔凈空氣的第五清潔管路，所述第一清潔管路上設(shè)置有第一閥門，所述第二清潔管路上設(shè)置有第二閥門，所述第三清潔管路上設(shè)置有第一分支及第二分支，所述第一分支上設(shè)置有第三閥門，所述第二分支上設(shè)置有第四閥門，所述第一分支與所述第二清潔管道合成，所述第二分支與所述第四清潔管道合流，所述第四清潔管路上設(shè)置有第五閥門，所述第五清潔管路上設(shè)置有第六閥門；其中所述清潔裝置包括四種清潔狀態(tài)，所述四種清潔狀態(tài)依次執(zhí)行，當(dāng)處于第一清潔狀態(tài)時，通過使用光阻溶劑對待清潔管路進(jìn)行清洗，當(dāng)處于第二清潔狀態(tài)時，使用清洗劑與惰性氣體合成后的第一二流體對待清潔管路進(jìn)行清洗，當(dāng)處于第三清潔狀態(tài)時，使用有機(jī)溶劑與惰性氣體合成后的第二二流體對待清潔管路進(jìn)行清洗，當(dāng)處于第四清潔狀態(tài)時，使用干燥潔凈空氣對待清潔管路進(jìn)行干燥。

本發(fā)明提供的一種涂布機(jī)管路的清潔方法及清潔裝置，通過先使用光阻溶劑進(jìn)行管路清潔，再依次使用清洗劑與惰性氣體及有機(jī)溶劑與惰性氣體合成的氣液二流體進(jìn)行管路清潔，最后使用干燥潔凈空氣進(jìn)行管路干燥。加強(qiáng)了清潔的效果，并且避免了光阻溶劑殘留，極大的提高了涂布機(jī)管路的清潔效率。

附圖說明

圖1是本發(fā)明實施例提供的涂布機(jī)管路的清潔方法的流程示意圖。

圖2是本發(fā)明實施例提供的涂布機(jī)管路的清潔裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本發(fā)明實施例提供的涂布機(jī)管路的清潔裝置的另一結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式