[發明專利]基于杯形波動陀螺的壓電電極及其制備方法

在審

• 申請號: 201710316397.9
• 申請日: 2017-05-08
• 公開（公告）號: CN107227458A
• 公開（公告）日: 2017-10-03
• 發明（設計）人: 崔巖;虞夢琳;曲天良;劉兵;孔祥新;谷旺
• 申請（專利權）人: 大連理工大學
• 主分類號: C23C28/00
• 分類號: C23C28/00;G01C19/5691
• 代理公司: 大連理工大學專利中心21200
• 代理人: 溫福雪,侯明遠

1.一種基于杯形波動陀螺的壓電電極，其特征在于，所述的壓電電極為三層結構，從下到上依次為公共底電極、PZT層和頂電極；公共底電極的主體為八個矩形電極塊，通過圓環結構將八個矩形電極塊連為一體結構，材料和厚度均相同；PZT層的結構與公共底電極的結構相同，在PZT層的圓環結構上設有8個引線孔，每兩矩形電極塊之間設有一引線孔；頂電極為八個矩形電極塊，其濺射于PZT層的對應矩形電極塊處，矩形電極塊的端部設有頂電極引線位置。

2.一種基于杯形波動陀螺的壓電電極的制備方法，其特征在于，步驟如下：

第一步，對杯形波動陀螺的諧振子底面進行拋光、清洗、甩膠、光刻和顯影；

第二步，在諧振子底面先濺射一層30～50nm Ti層、再濺射一層150～200nmPt層，去膠并剝離濺射的Ti、Pt層，得到公共底電極；

第三步，清洗第二步制得的諧振子底面表面，并制備PZT前驅液；采用溶膠-凝膠法在諧振子底面制備PZT薄層，經過多次重復操作，得到PZT層；

第四步，在PZT層表面進行甩膠、光刻和顯影，并濺射Pt層，去膠并剝離，去除電極之外多余的Pt層，得到頂電極；

第五步，在頂電極的表面，甩膠、光刻和顯影，并利用PZT腐蝕液腐蝕多余的PZT，形成所需圖案的PZT層，同時露出底電極引線孔。