[發明專利]一種化學氣相沉積鍍制金剛石膜的方法

有效

• 申請號: 201710314057.2
• 申請日: 2017-05-05
• 公開（公告）號: CN107267952B
• 公開（公告）日: 2023-05-23
• 發明（設計）人: 鮑明東;徐雪波;呂志甲;楊夢夢;馮超;丁蘭;何驊波
• 申請（專利權）人: 寧波工程學院
• 主分類號: C23C16/27
• 分類號: C23C16/27;C23C16/02;C23C16/44
• 代理公司: 寧波辰暉專利代理事務所(普通合伙) 33420
• 代理人: 劉海彬

1.一種化學氣相沉積鍍制金剛石膜的方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟1：將試樣(3)放到超聲波中清洗；

步驟2：將清洗后的試樣(3)放到真空干燥箱中干燥；

步驟3：在干燥后的試樣(3)上鍍制Si薄膜層，得到鍍有Si薄膜層的試樣(3)；

步驟4：將步驟3中的試樣(3)放到超聲波中清洗；

步驟5：將步驟4中清洗后的試樣(3)放到真空干燥箱中干燥；

步驟6：將步驟5中干燥后的試樣(3)放入化學氣相沉積鍍制金剛石膜的設備，根據預設參數，啟動化學氣相沉積鍍制金剛石膜的設備并開始鍍制金剛石膜；鍍制過程中，觀察試樣(3)表面，

若試樣(3)表面發現異質顆粒物時，進入輔助步驟，所述輔助步驟包括：

第一步，打開輔助腔體(5)的電動閥門(6)；

第二步，工控系統控制噴槍(9)向試樣(3)方向移動，并使噴槍(9)的出口對準試樣(3)的異質顆粒物，擋板(32)將電極(2)遮擋；

第三步，工控系統打開流量控制閥(24)，使氣瓶(26)中儲存的惰性氣體通過噴槍(9)的出口將異質顆粒物吹離試樣(3)表面；

第四步，復位，輔助步驟結束，化學氣相沉積鍍制金剛石膜的設備根據預設參數繼續鍍制金剛石膜；

若試樣(3)表面未發現異形顆粒物，按所述預設參數鍍膜；

步驟7：鍍制金剛石膜完成，關閉設備。

2.按照權利要求1所述的一種化學氣相沉積鍍制金剛石膜的方法，其特征在于，所述輔助步驟還包括：工控系統記錄打開電動閥門(6)到復位之間的時間T，并將時間T增加至預設參數中的時間參數中。

3.按照權利要求1所述的一種化學氣相沉積鍍制金剛石膜的方法，其特征在于，所述輔助步驟還包括：在第三步之后，工控系統控制噴槍(9)以使噴槍(9)的出口在試樣(3)的表面范圍內往返運動N個循環。

4.按照權利要求3所述的一種化學氣相沉積鍍制金剛石膜的方法，其特征在于，所述N個循環是指3～5個循環。

5.按照權利要求1所述的一種化學氣相沉積鍍制金剛石膜的方法，其特征在于，所述惰性氣體為氬氣。