[發(fā)明專利]陣列基板、顯示面板、顯示裝置以及陣列基板的制作方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710312403.3
• 申請日: 2017-05-05
• 公開（公告）號: CN107093584B
• 公開（公告）日: 2019-11-19
• 發(fā)明（設計）人: 金慧俊;朱雪婧;曹兆鏗
• 申請（專利權(quán)）人: 上海中航光電子有限公司
• 主分類號: H01L21/84
• 分類號: H01L21/84;H01L27/12;G02F1/1362;G06F3/041
• 代理公司: 11444 北京匯思誠業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 王剛;龔敏<國際申請>=<國際公布>=<

本申請涉及顯示技術(shù)領域，尤其涉及一種陣列基板、顯示面板、顯示裝置以及陣列基板的制作方法。制作方法采用第一掩膜版制作柵極線與像素電極，采用第二掩膜版制作薄膜晶體管與觸控信號線、采用第三掩膜版制作第一過孔與第二過孔，采用第四掩膜版制作公共電極層，且公共電極層包括第一連接結(jié)構(gòu)和公共電極單元，公共電極單元包括第二連接結(jié)構(gòu)，第一連接結(jié)構(gòu)通過第一過孔與漏極、像素電極均接觸；第二連接結(jié)構(gòu)通過第二過孔與觸控信號線接觸。本申請通過四塊掩膜版實現(xiàn)了陣列基板的制作，減少了掩膜版的數(shù)量，能夠降低制造成本。

技術(shù)領域

本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領域，尤其涉及一種陣列基板、顯示面板、顯示裝置以及陣列基板的制作方法。

背景技術(shù)

隨著液晶顯示技術(shù)的不斷發(fā)展，液晶顯示面板廣泛應用于移動終端、家用電視、數(shù)字相機、計算機等顯示設備中。液晶顯示面板包括陣列基板、彩膜基板以及位于陣列基板與封裝基板之間的液晶。

內(nèi)置觸控液晶顯示將實現(xiàn)觸控功能的觸控電極集成在陣列基板或者彩膜基板。其中，當觸控電極集成在陣列基板上時，該陣列基板包括像素電極、柵極線、有源層、源漏層、觸控信號線以及觸控電極、目前較為常用的方法為采用六個掩膜版逐層制作，甚至有的采用八個掩膜版制作用于觸控顯示的陣列基板。

顯然，采用上述方式，需要的掩膜版的數(shù)量較多，增加制造成本。

發(fā)明內(nèi)容

本申請?zhí)峁┝艘环N顯示面板、顯示裝置以及陣列基板的制作方法，能夠解決上述問題。

本申請的第一方面提供了一種陣列基板的制作方法，包括：

使用第一掩膜版在襯底基板的一側(cè)形成柵極線和像素電極；

在所述柵極線和所述像素電極遠離所述襯底基板的外側(cè)形成第一絕緣層，所述第一絕緣層覆蓋所述柵極線和所述像素電極；

使用第二掩膜版在所述第一絕緣層遠離所述襯底基板的一側(cè)形成有源層和源漏層，所述源漏層包括源極、漏極、數(shù)據(jù)信號線和觸控信號線，所述源極和所述漏極均與所述有源層電連接；

在所述有源層和所述源漏層遠離所述襯底基板的外側(cè)形成第二絕緣層，所述第二絕緣層覆蓋所述有源層和所述源漏層；

使用第三掩膜版形成第一過孔和第二過孔，所述第一過孔貫通所述第一絕緣層和所述第二絕緣層，所述第二過孔貫通所述第二絕緣層，且所述像素電極的至少一部分、所述漏極的至少一部分裸露于所述第二過孔，所述觸控信號線的至少一部分裸露于所述第一過孔；

使用第四掩膜版形成具有多個公共電極單元的公共電極層，所述公共電極層還包括第一連接結(jié)構(gòu)，各所述公共電極單元包括第二連接結(jié)構(gòu)，所述第一連接結(jié)構(gòu)、所述第二連接結(jié)構(gòu)相互絕緣，所述第一連接結(jié)構(gòu)通過所述第一過孔與所述漏極、所述像素電極均接觸；所述第二連接結(jié)構(gòu)通過所述第二過孔與所述觸控信號線接觸。

本申請的第二方面提供了一種陣列基板，包括襯底基板、設置在所述襯底基板的一側(cè)的柵極線、像素電極、第一絕緣層、有源層和源漏層、第二絕緣層和公共電極層，

所述第一絕緣層覆蓋所述柵極線和所述像素電極；所述第二絕緣層覆蓋所述有源層和所述源漏層；

所述源漏層包括源極、漏極、數(shù)據(jù)信號線和觸控信號線，所述源極和所述漏極均與所述有源層電連接；

所述公共電極層包括多個公共電極單元和第一連接結(jié)構(gòu)，各所述公共電極單元包括與所述第一連接結(jié)構(gòu)絕緣的第二連接結(jié)構(gòu)；

所述陣列基板還設置有貫穿所述第一絕緣層和所述第二絕緣層的第一過孔、貫穿所述第二絕緣層的第二過孔，所述第一連接結(jié)構(gòu)通過所述第一過孔與所述漏極接觸，所述第二連接結(jié)構(gòu)通過所述第二過孔與所述觸控信號線接觸。

本申請的第三方面提供了一種顯示面板，包括如上所述的陣列基板。