[發明專利]納米涂層設備的電磁過濾裝置

有效

• 申請號: 201710300658.8
• 申請日: 2017-05-02
• 公開（公告）號: CN107177822B
• 公開（公告）日: 2019-10-01
• 發明（設計）人: 王書文;劉彩霞;沈麗霞
• 申請（專利權）人: 上海理工大學
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司 31001
• 代理人: 吳寶根;王晶

1.一種納米涂層設備的電磁過濾裝置，包括過濾屏幕、真空系統(2)、標準電弧蒸發器(1)、大顆粒清除裝置(6)，標準電弧蒸發器(1)連接真空系統(2)，其特征在于：所述標準電弧蒸發器(1)發射的真空電弧的陽極正極作為真空腔室中的電離結構，真空電弧引起靶材料氣化及離子化從而使產生的等離子體在陰極和陽極之間傳導電流，即電弧中的等離子體放電，陰極負極制成陰極離子源可替換元件(3)夾持在過濾屏幕上，所述真空電弧的陰極與陽極之間產生電弧，在垂直于電弧陰極表面的附近產生等離子，在磁場的作用下，等離子體中的宏觀粒子、中性原子和離子團(5)被打到過濾屏幕上，而純凈的等離子體(4)被偏移到更高磁場分量的位置，最終到達放置基體的轉臺，以沉積在基體上；所述大顆粒清除裝置(6)與過濾屏幕相連接，且設置在過濾屏幕的拐角處，定期清理宏觀粒子、中性原子和離子團大顆粒；所述過濾屏幕的外形為一弧狀彎管結構；所述陰極離子源可替換元件(3)沿著所述過濾屏幕的外形間隔設置。

2.根據權利要求1所述的納米涂層設備的電磁過濾裝置，其特征在于：在沉積過程之前，所述納米涂層設備的電磁過濾裝置的進氣口通入氮氣，排氣口排出空氣，以保證沉積過程中設備是真空狀態，不受外界因素的干擾。