[發明專利]一種掩膜組件及其組裝方法

有效

• 申請號: 201710297505.2
• 申請日: 2017-04-28
• 公開（公告）號: CN106884140B
• 公開（公告）日: 2019-04-30
• 發明（設計）人: 張微
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

本發明實施例提供一種掩膜組件及其組裝方法，涉及蒸鍍技術領域，相對現有技術，可提高第一支撐條的張網精度和遮擋精度。該掩膜組件包括：框架，框架具有中空區域；掩膜板，掩膜板跨設于框架的中空區域，且掩膜板的相對兩端固定在框架上；第一支撐條，用于支撐掩膜板；第一支撐條包括層疊設置的第一子支撐條和第二子支撐條，第一子支撐條和第二子支撐條跨設于框架的中空區域，且第一子支撐條的相對兩端和第二子支撐條的相對兩端均固定在框架上；其中，所述第一子支撐條在所述第二子支撐條上的正投影位于所述第二子支撐條內；第二子支撐條的厚度小于第一子支撐條的厚度。用于掩膜組件中。

技術領域

本發明涉及蒸鍍技術領域，尤其涉及一種掩膜組件及其組裝方法。

背景技術

目前，OLED(Organic Light Emitting Diode，有機發光二極管)顯示裝置由于具有自發光、反應快、亮度高、輕薄等諸多優點，而得到越來越廣泛的應用。

其中，OLED在制作時常采用蒸鍍工藝、噴墨打印工藝等方式，而在制作小尺寸有機電致發光二極管顯示面板(OLED Panel)的過程中，蒸鍍工藝中所使用的蒸鍍掩膜板(Mask)起到尤其重要的作用。傳統的蒸鍍掩膜板分為開口掩膜板(Open Mask)和精細金屬掩膜板(Fine Metal Mask，簡稱FMM)，包含有開口掩膜板的掩膜組件制作時技術難度較低，而包含有FMM的掩膜組件制作時技術難度極大。包含有FMM的掩膜組件通常由框架(Frame)、支撐條(Howling)以及FMM等組成。

然而，傳統的支撐條由于厚度較大，因而支撐條在張網時需要較大的張網力，而較大的張網力容易使支撐條變形，例如使支撐條彎曲(Howling Bending)，這樣便很難保證支撐條具有良好的直線度，從而影響了支撐條的張網精度(支撐條在框架上的實際位置與預設位置的差距)，而張網精度的降低會導致支撐條的遮擋精度(支撐條的實際遮擋區域與預設遮擋區域差距)降低。

發明內容

本發明的實施例提供一種掩膜組件及其組裝方法，相對現有技術，可提高第一支撐條的張網精度和遮擋精度。

為達到上述目的，本發明的實施例采用如下技術方案：

一方面，提供一種掩膜組件，包括：框架，所述框架具有中空區域；掩膜板，所述掩膜板跨設于所述框架的中空區域，且所述掩膜板的相對兩端固定在所述框架上；第一支撐條，用于支撐所述掩膜板；所述第一支撐條包括層疊設置的第一子支撐條和第二子支撐條，所述第一子支撐條和所述第二子支撐條跨設于所述框架的中空區域，且所述第一子支撐條的相對兩端和所述第二子支撐條的相對兩端均固定在所述框架上；其中，所述第一子支撐條在所述第二子支撐條上的正投影位于所述第二子支撐條內；所述第二子支撐條的厚度小于所述第一子支撐條的厚度。

優選的，所述掩膜組件包括至少兩個第一支撐條；所述第一支撐條之間相互平行。

優選的，所述掩膜組件還包括：固定在所述框架上的輔助件，所述輔助件具有標記圖案。

進一步優選的，所述輔助件包括兩個輔助條，兩個所述輔助條分別設置在所述框架的相對兩邊，每個所述輔助條背離所述框架的一側的兩端設置有孔洞。

優選的，所述第一子支撐條的寬度比所述第二子支撐條的寬度小300μm-500μm。

優選的，所述掩膜板為精細金屬掩膜板，所述精細金屬掩膜板包括多個相互平行的掩膜條。

進一步優選的，所述第一支撐條與所述掩膜條相互垂直。

優選的，所述掩膜組件還包括第二支撐條；所述第二支撐條跨設于所述框架的中空區域，且所述第二支撐條的相對兩端固定在所述框架上；其中，所述第二支撐條與所述第一支撐條交叉設置。