[發明專利]一種掩膜組件及其組裝方法

有效

• 申請號: 201710297505.2
• 申請日: 2017-04-28
• 公開（公告）號: CN106884140B
• 公開（公告）日: 2019-04-30
• 發明（設計）人: 張微
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種掩膜組件，其特征在于，包括:

框架，所述框架具有中空區域；

掩膜板，所述掩膜板跨設于所述框架的中空區域，且所述掩膜板的相對兩端固定在所述框架上；

第一支撐條，用于支撐所述掩膜板；所述第一支撐條包括層疊設置的第一子支撐條和第二子支撐條，所述第一子支撐條和所述第二子支撐條跨設于所述框架的中空區域，且所述第一子支撐條的相對兩端和所述第二子支撐條的相對兩端均固定在所述框架上；

其中，所述第一子支撐條在所述第二子支撐條上的正投影位于所述第二子支撐條內；所述第二子支撐條的厚度小于所述第一子支撐條的厚度。

2.根據權利要求1所述的掩膜組件，其特征在于，所述掩膜組件包括至少兩個第一支撐條；所述第一支撐條之間相互平行。

3.根據權利要求1所述的掩膜組件，其特征在于，所述掩膜組件還包括：固定在所述框架上的輔助件，所述輔助件具有標記圖案。

4.根據權利要求3所述的掩膜組件，其特征在于，所述輔助件包括兩個輔助條，兩個所述輔助條分別設置在所述框架的相對兩邊，每個所述輔助條背離所述框架的一側的兩端設置有孔洞。

5.根據權利要求1所述的掩膜組件，其特征在于，所述第一子支撐條的寬度比所述第二子支撐條的寬度小300μm-500μm。

6.根據權利要求1所述的掩膜組件，其特征在于，所述掩膜板為精細金屬掩膜板，所述精細金屬掩膜板包括多個相互平行的掩膜條。

7.根據權利要求6所述的掩膜組件，其特征在于，所述第一支撐條與所述掩膜條相互垂直。

8.根據權利要求1所述的掩膜組件，其特征在于，所述掩膜組件還包括第二支撐條；所述第二支撐條跨設于所述框架的中空區域，且所述第二支撐條的相對兩端固定在所述框架上；其中，所述第二支撐條與所述第一支撐條交叉設置。

9.根據權利要求8所述的掩膜組件，其特征在于，所述第二支撐條包括疊層設置的第三子支撐條和第四子支撐條；

其中，所述第三子支撐條在所述第四子支撐條上的正投影位于所述第四子支撐條內；所述第四子支撐條的厚度小于所述第三子支撐條的厚度。

10.根據權利要求8所述的掩膜組件，其特征在于，所述掩膜板為精細金屬掩膜板，所述精細金屬掩膜板包括多個相互平行的掩膜條，所述掩膜條與所述第二支撐條平行，所述第二支撐條設置在相鄰所述掩膜條之間的間隙位置處。

11.一種掩膜組件的組裝方法，其特征在于，包括：

將第一子支撐條跨設于框架的中空區域，并將所述第一子支撐條的相對兩端固定在所述框架上；

將第二子支撐條設置在所述第一子支撐條上方，并將所述第二子支撐條的相對兩端固定在所述框架上，所述第一子支撐條在所述第二子支撐條上的正投影位于所述第二子支撐條內，所述第二子支撐條的厚度小于所述第一子支撐條的厚度；其中，所述第一子支撐條和所述第二子支撐條構成第一支撐條；

將掩膜板跨設于所述框架的中空區域，并將所述掩膜板的相對兩端固定在所述框架上。

12.根據權利要求11所述的組裝方法，其特征在于，在將第一子支撐條的相對兩端固定在框架上之后，將第二子支撐條的相對兩端固定在所述框架上之前，所述組裝方法還包括：

將兩個輔助條分別設置在所述框架的相對兩邊，所述輔助條背離所述框架的一側的兩端設置有孔洞；

將所述第二子支撐條的相對兩端固定在所述框架上，具體包括：根據所述孔洞確定所述第二子支撐條在所述框架上的固定位置，并固定所述第二子支撐條的相對兩端；

將所述掩膜板的相對兩端固定在所述框架上，具體包括：根據所述孔洞確定所述掩膜板在所述框架上的固定位置，并固定所述掩膜板的相對兩端。