[發(fā)明專利]半導(dǎo)體裝置、半導(dǎo)體芯片以及半導(dǎo)體芯片的測(cè)試方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201710293925.3 | 申請(qǐng)日: | 2017-04-28 |
| 公開(公告)號(hào): | CN107393842B | 公開(公告)日: | 2022-05-13 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 政井英樹 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 拉碧斯半導(dǎo)體株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào): | H01L21/66 | 分類號(hào): | H01L21/66 |
| 代理公司: | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 閆小龍;鄭冀之 |
| 地址: | 日本神奈*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 半導(dǎo)體 裝置 芯片 以及 測(cè)試 方法 | ||
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體裝置、半導(dǎo)體芯片以及半導(dǎo)體芯片的測(cè)試方法。目的在于提供能夠在不招致輸出特性的劣化和裝置規(guī)模的增大的情況下實(shí)施制品出貨前的測(cè)試的半導(dǎo)體裝置、半導(dǎo)體芯片以及其測(cè)試方法。具有:第一線;信號(hào)處理電路,將進(jìn)行信號(hào)處理而生成的第一輸出信號(hào)向第一線送出;第一短路用焊盤,連接于第一線;第一輸出焊盤;輸出線,連接于第一輸出焊盤;半導(dǎo)體芯片,形成有第一開關(guān),所述第一開關(guān)在接通狀態(tài)時(shí)將第一線與輸出線連接而在關(guān)斷狀態(tài)時(shí)切斷第一線與輸出線的連接;以及第一布線,將第一短路用焊盤與第一輸出焊盤連接。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體裝置,特別是涉及包含測(cè)試電路的半導(dǎo)體裝置、半導(dǎo)體芯片以及半導(dǎo)體芯片的測(cè)試方法。
背景技術(shù)
在半導(dǎo)體裝置中,在該制品出貨前,進(jìn)行用于確認(rèn)在向輸入端子提供規(guī)定的信號(hào)時(shí)是否向輸出端子輸出期望的輸出信號(hào)的測(cè)試。為了實(shí)施該測(cè)試,例如使探針與連接于半導(dǎo)體裝置的各輸出端子的焊盤接觸,經(jīng)由該探針來取得輸出信號(hào)。
可是,在如顯示面板用的驅(qū)動(dòng)器IC等那樣輸出端子的數(shù)目龐大的半導(dǎo)體裝置中,為了抑制伴隨著輸出端子數(shù)目的增大的IC芯片面積的增加,期望使彼此鄰接的焊盤彼此的間隔狹窄。
此時(shí),當(dāng)使焊盤彼此的間隔狹窄時(shí),難以以探針彼此不彼此干擾的方式使探針與各焊盤接觸。因此,為了解決這樣的問題點(diǎn),提出了新設(shè)置有用于將連接于各輸出端子的焊盤各自的信號(hào)擇一地取出的開關(guān)電路和測(cè)試焊盤并且使由該開關(guān)電路選擇的1個(gè)信號(hào)從測(cè)試焊盤輸出的半導(dǎo)體裝置(例如參照專利文獻(xiàn)1)。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu),只要在測(cè)試時(shí)使探針僅與該半導(dǎo)體裝置的測(cè)試焊盤接觸即可,因此,即使焊盤彼此的間隔狹窄也能夠可靠地使探針與測(cè)試焊盤接觸。
現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1:日本特開2003-163246號(hào)公報(bào)。
發(fā)明要解決的課題
可是,在上述的半導(dǎo)體裝置中,作為測(cè)試用而必須新設(shè)置具有能夠使探針接觸的程度的表面積的測(cè)試焊盤,因此,相應(yīng)地產(chǎn)生了管理主功能的電路部的占有面積變小這樣的問題。
此外,在這樣的半導(dǎo)體裝置中,作為上述的開關(guān)電路,設(shè)置有僅在進(jìn)行測(cè)試的情況下切斷輸出緩沖器與輸出焊盤的連接的開關(guān)元件。因此,在通常使用時(shí),從輸出緩沖器輸出的信號(hào)經(jīng)由該開關(guān)元件從輸出焊盤向外部輸出。
因此,為了使輸出緩沖器中的轉(zhuǎn)換速率(slew rate)特性為期望的特性,作為該開關(guān)元件,需要采用導(dǎo)通電阻低的晶體管即表面積比較大的晶體管,產(chǎn)生了招致半導(dǎo)體裝置的尺寸的增大這樣的問題。
發(fā)明內(nèi)容
因此,本發(fā)明的目的在于提供能夠在不招致輸出特性的劣化和裝置規(guī)模的增大的情況下實(shí)施制品出貨前的測(cè)試的半導(dǎo)體裝置、半導(dǎo)體芯片以及半導(dǎo)體芯片的測(cè)試方法。
用于解決課題的方案
本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置具有:第一線;信號(hào)處理電路,將進(jìn)行信號(hào)處理而生成的第一輸出信號(hào)向所述第一線送出;第一短路用焊盤,連接于所述第一線;第一輸出焊盤;輸出線,連接于所述第一輸出焊盤;半導(dǎo)體芯片,形成有第一開關(guān),所述第一開關(guān)在接通狀態(tài)時(shí)將所述第一線與所述輸出線連接而在關(guān)斷狀態(tài)時(shí)切斷所述第一線與所述輸出線的連接;以及第一布線,將所述第一短路用焊盤與所述第一輸出焊盤連接。
此外,本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置具有:第一線;信號(hào)處理電路,將進(jìn)行信號(hào)處理而生成的第一輸出信號(hào)向所述第一線送出;第一電阻,一端連接于所述第一線;短路用焊盤,連接于所述第一電阻的另一端;第一開關(guān),一端連接于所述第一線;第一輸出焊盤;第一輸出電阻,一端連接于所述第一輸出焊盤;輸出線,連接于所述第一輸出電阻的另一端;半導(dǎo)體芯片,形成有一端連接于所述輸出線而另一端連接于所述第一開關(guān)的另一端的輸出開關(guān);以及第一布線,將所述短路用焊盤與所述第一輸出焊盤連接。
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- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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