[發明專利]一種方形晶片加工裝置及其工作方法

有效

• 申請號: 201710287024.3
• 申請日: 2017-04-27
• 公開（公告）號: CN106941074B
• 公開（公告）日: 2023-03-03
• 發明（設計）人: 林文華
• 申請（專利權）人: 林文華
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;H01L21/3065;H01L21/67;B05C5/02;B05C13/02;B05C11/08;B05B9/04
• 代理公司: 福州科揚專利事務所(普通合伙) 35001
• 代理人: 羅立君

1.一種方形晶片加工裝置，其特征在于：包括座體(1)、罩體(2)、涂膠裝置(3)、抽真空裝置(4)、IPC刻蝕裝置(5)和膠水去邊裝置(6)；所述座體(1)包括支撐臺(11)、設置在支撐臺(11)上的托盤(12)和設置在托盤(12)上吸附晶片的轉盤(13)；轉盤(13)由一第一電機(14)驅動轉動；所述罩體(2)由一第一液壓驅動裝置(17)驅動升降，罩體(2)底部與支撐臺(11)密封配合；罩體(2)上設置有進氣閥(21)；所述涂膠裝置(3)包括水平設置可伸縮的進膠管(31)和設置在進膠管(31)一端位于罩體(2)內的出膠口(32)；所述進膠管(31)一端密封滑動穿入罩體(2)內，另一端連通一進膠裝置(35)；所述抽真空裝置(4)包括設置在罩體(2)外的抽真空泵(41)和抽真空管(42)；抽真空管(42)一端連接抽真空泵(41)，另一端固定在罩體(2)上且連通罩體(2)內空間；所述IPC刻蝕裝置(5)包括設置在罩體(2)內頂端的工作氣體進氣口(51)和功率源；所述膠水去邊裝置(6)包括設置在罩體(2)內的刮膠裝置(62)，所述刮膠裝置(62)包括水平設置在罩體(2)內可伸縮的操作臂(621)、固定于操作臂(621)自由端的溶劑噴頭(622)以及與溶劑噴頭(622)連通的溶劑噴霧裝置(623)；所述支撐臺(11)上設置有一與托盤(12)配合的凹槽(111)；托盤(12)由一設置在凹槽(111)底部的第二液壓驅動裝置(121)驅動升降，使托盤(12)的位置在凹槽(111)內外切換；所述凹槽(111)頂部設置有開合板(112)；開合板(112)與凹槽(111)密封配合，開合板(112)上設置有緩慢向凹槽(111)內漏氣的單向穩壓閥(114)；所述支撐臺(11)上設置有卡槽(113)；卡槽(113)內設置有密封墊片；卡槽(113)與罩體(2)下端密封配合；所述座體(1)側壁上設置有觀察窗(15)；所述觀察窗(15)上貼覆有減光膜(16)；所述轉盤(13)外圓周面上設置有外齒；所述第一電機(14)的轉軸上固定有與外齒配合的齒輪(141)；所述托盤(12)包括上盤(122)、下盤(123)以及設置在上盤(122)和下盤(123)之間的圓形電致伸縮層(124)；所述電致伸縮層(124)由多塊相同的電致伸縮扇形拼接而成；電致伸縮扇形分別由一電路控制沿厚度方向伸縮；晶片通過一鍍膜夾具(8)固定在轉盤(13)上端面，所述鍍膜夾具(8)包括圓盤夾具(81)以及中空的圓環夾具(82)；所述圓盤夾具(81)上端面繞圓心均勻設置四個貫穿圓盤夾具(81)的方形通槽(811)；方形通槽(811)內壁設置有凸起(8111)；所述方形通槽(811)一側設置有弧形槽(812)；位于同側的兩方形通槽(811)通過一矩形槽(813)連通；所述圓盤夾具(81)可拆卸連接于圓環夾具(82)上；所述圓環夾具(82)的空心圓與方形通槽(811)相對；所述圓環夾具(82)通過螺絲與轉盤(13)上端面螺紋連接。

2.如權利要求1所述的一種方形晶片加工裝置，其特征在于：所述溶劑噴頭(622)與操作臂(621)交界處下方豎直設置有一與溶劑噴頭(622)等寬度的隔離擋板(624)，所述隔離擋板(624)其中一端設有一延伸部(625)，所述延伸部(625)上連接有擦膠輥筒(626)，所述擦膠輥筒(626)表面覆蓋有吸水性材料。

3.如權利要求2所述的一種方形晶片加工裝置，其特征在于：所述溶劑噴霧裝置(623)包括氣動隔膜泵(6231)和溶劑罐(6235)，所述氣動隔膜泵(6231)包括泵腔(6232)、設置在泵腔(6232)內的隔膜(6233)，所述隔膜(6233)將泵腔(6232)分隔成溶液腔(62321)和氣體腔(62322)，所述溶液腔(62321)設有溶液入口(62323)和溶液出口(62324)，所述溶液入口(62323)和溶液出口(62324)處均設置有浮球閥(62325)，所述溶液入口(62323)與溶劑罐(6235)連通，所述溶液出口(62324)與溶劑噴頭(622)連通；所述氣體腔(62322)與一電動活塞(6234)的活塞腔連通。

4.如權利要求3所述的一種方形晶片加工裝置，其特征在于：所述圓環夾具(82)上端面繞圓心均勻設置多個貫穿圓環夾具(82)的螺釘緊固槽(821)；一螺釘依次穿過圓盤夾具(81)的螺孔以及所述螺釘緊固槽(821)使圓盤夾具(81)和圓環夾具(82)卡接。