[發(fā)明專利]蒸鍍?cè)匆约罢翦冊(cè)O(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710283956.0
• 申請(qǐng)日: 2017-04-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106929804A
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-07-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 潘愛(ài)軍;陳紅
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 昆山國(guó)顯光電有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/24
• 分類號(hào): C23C14/24;C23C14/54
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)31237
• 代理人: 智云

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種蒸鍍?cè)匆约罢翦冊(cè)O(shè)備。

背景技術(shù)

OLED(Organic Light-Emitting Diode，有機(jī)發(fā)光二級(jí)管，簡(jiǎn)稱OLED)顯示屏由于具有薄、輕、寬視角、主動(dòng)發(fā)光、發(fā)光顏色連續(xù)可調(diào)、成本低、響應(yīng)速度快、能耗小、驅(qū)動(dòng)電壓低、工作溫度范圍寬、生產(chǎn)工藝簡(jiǎn)單、發(fā)光效率高及可柔性顯示等優(yōu)點(diǎn)，已被列為極具發(fā)展前景的顯示技術(shù)

在基板上形成OLED器件通常采用蒸鍍工藝，其是指在一定的真空條件下加熱鍍膜材料，使鍍膜材料熔化(或升華)成原子、分子或原子團(tuán)組成的蒸氣，然后沉積在基板表面成膜，從而形成OLED器件的功能層。其中，作為收容鍍膜材料的容器的蒸鍍?cè)词潜夭豢缮俚牟考?/p>

圖1a和圖1b是兩種典型的蒸鍍?cè)?0。具體的，圖1a所示的蒸鍍?cè)?0為舟狀結(jié)構(gòu)，鍍膜材料20設(shè)置在蒸鍍?cè)?0的凹槽內(nèi)，且由鍍膜材料20加熱形成的蒸氣將如圖中箭頭所指的方向運(yùn)動(dòng)，但具體的運(yùn)動(dòng)方向不受限制，因此，該蒸鍍?cè)?0的形式為自由蒸發(fā)型。圖1b所示的蒸鍍?cè)?0為頂部敞開(kāi)的坩鍋，且底部的鍍膜材料20加熱后形成的蒸氣的運(yùn)動(dòng)方向受坩鍋內(nèi)腔形狀的限制，相比于圖1a，具有一定的方向性。該兩種蒸鍍?cè)措m然蒸鍍速度較快，但是蒸氣運(yùn)動(dòng)的方向性較差，容易導(dǎo)致待鍍膜的基板上出現(xiàn)蒸鍍陰影，致使膜厚不均以致產(chǎn)生邊緣亮度不均勻問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種蒸鍍?cè)匆约罢翦冊(cè)O(shè)備，可以改善蒸鍍陰影所導(dǎo)致的膜厚不均問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種蒸鍍?cè)矗ň哂袃?nèi)腔的本體，所述本體上開(kāi)設(shè)有與所述內(nèi)腔連通的開(kāi)孔，所述本體通過(guò)所述開(kāi)孔使鍍膜材料從所述內(nèi)腔中排出；其中，所述開(kāi)孔具有第一內(nèi)徑和第二內(nèi)徑，所述第一內(nèi)徑靠近所述鍍膜材料流出所述開(kāi)孔的方向，所述第二內(nèi)徑靠近所述鍍膜材料流進(jìn)所述開(kāi)孔的方向，且所述第一內(nèi)徑小于或等于所述第二內(nèi)徑。

可選的，所述本體為對(duì)稱結(jié)構(gòu)，所述開(kāi)孔與所述本體同軸布置。

可選的，所述開(kāi)孔的橫向截面為中心對(duì)稱且軸對(duì)稱圖形。

可選的，所述開(kāi)孔的橫向截面為圓形或橢圓形。

可選的，所述第一內(nèi)徑與所述第二內(nèi)徑的比值在0.25～0.5之間。

可選的，所述開(kāi)孔的深度等于所述第二內(nèi)徑與所述第一內(nèi)徑的差值。

可選的，所述本體包括第一部分以及與所述第一部分相連接的第二部分，所述第一部分具有第一內(nèi)腔，所述第二部分具有第二內(nèi)腔，所述第二內(nèi)腔與所述第一內(nèi)腔連通，所述第一內(nèi)腔和所述第二內(nèi)腔構(gòu)成所述內(nèi)腔，所述開(kāi)孔開(kāi)設(shè)在所述第二部分上并與所述第二內(nèi)腔貫通。

可選的，所述第二部分的縱截面形狀為弧形。

可選的，所述本體包括第一部分以及與所述第一部分相連接的第二部分，所述第一部分具有第一內(nèi)腔，所述第二部分具有第二內(nèi)腔，所述第二內(nèi)腔與所述第一內(nèi)腔連通，所述第一內(nèi)腔構(gòu)成所述內(nèi)腔，所述第二內(nèi)腔直接形成為所述開(kāi)孔。

可選的，所述本體還包括與所述第一部分相連接的第三部分，所述第三部分與所述第一部分共同形成有所述第一內(nèi)腔，所述第二部分與所述第三部分中的至少一個(gè)與所述第一部分以可拆卸的方式連接。

可選的，所述蒸鍍?cè)礊槎鄠€(gè)，多個(gè)所述蒸鍍?cè)磁帕谐梢粭l直線。

進(jìn)一步的，本發(fā)明另提供了一種包括上述任意一項(xiàng)所述的蒸鍍?cè)吹恼翦冊(cè)O(shè)備。

綜上，本發(fā)明提供的蒸鍍?cè)匆约罢翦冊(cè)O(shè)備中，所述蒸鍍?cè)窗ň哂袃?nèi)腔的本體，所述本體上開(kāi)設(shè)有與所述內(nèi)腔連通的開(kāi)孔，所述本體通過(guò)所述開(kāi)孔使鍍膜材料從所述內(nèi)腔中排出，其中，所述開(kāi)孔具有第一內(nèi)徑和第二內(nèi)徑，所述第一內(nèi)徑靠近所述鍍膜材料流出所述開(kāi)孔的方向，所述第二內(nèi)徑靠近所述鍍膜材料流進(jìn)所述開(kāi)孔的方向，且所述第一內(nèi)徑小于或等于所述第二內(nèi)徑，這樣的結(jié)構(gòu)，可利用由進(jìn)口端向出口端方向尺寸不變或漸窄的開(kāi)孔排出鍍膜材料，以此來(lái)調(diào)整鍍膜材料從蒸鍍?cè)磁懦龅慕嵌群头较颍瑥亩瑰兡げ牧吓懦龅姆较蛐愿茫M(jìn)而解決蒸鍍陰影所導(dǎo)致的邊緣缺陷，提升蒸鍍效果。

附圖說(shuō)明

圖1a是現(xiàn)有的一種蒸鍍?cè)吹慕Y(jié)構(gòu)示意圖；

圖1b是現(xiàn)有的另一種蒸鍍?cè)吹慕Y(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種蒸鍍?cè)吹慕Y(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明實(shí)施例提供的開(kāi)孔的縱向截面示意圖；

圖4是圖3所示的開(kāi)孔的蒸鍍?cè)韴D；

圖5是本發(fā)明再一實(shí)施例提供的一種蒸鍍?cè)吹慕Y(jié)構(gòu)示意圖；

圖6是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種蒸鍍?cè)O(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明如下：

10-蒸鍍?cè)矗?0-鍍膜材料；