[發明專利]蒸鍍源以及蒸鍍設備

在審

• 申請號: 201710283956.0
• 申請日: 2017-04-26
• 公開（公告）號: CN106929804A
• 公開（公告）日: 2017-07-07
• 發明（設計）人: 潘愛軍;陳紅
• 申請（專利權）人: 昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/54
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237
• 代理人: 智云

1.一種蒸鍍源，其特征在于，包括具有內腔的本體，所述本體上開設有與所述內腔連通的開孔，所述本體通過所述開孔使鍍膜材料從所述內腔中排出；其中，所述開孔具有第一內徑和第二內徑，所述第一內徑靠近所述鍍膜材料流出所述開孔的方向，所述第二內徑靠近所述鍍膜材料流進所述開孔的方向，且所述第一內徑小于或等于所述第二內徑。

2.如權利要求1所述的蒸鍍源，其特征在于，所述本體為對稱結構，所述開孔與所述本體同軸布置。

3.如權利要求1所述的蒸鍍源，其特征在于，所述開孔的橫向截面為中心對稱且軸對稱圖形。

4.如權利要求3所述的蒸鍍源，其特征在于，所述開孔的橫向截面為圓形或橢圓形。

5.如權利要求1所述的蒸鍍源，其特征在于，所述第一內徑與所述第二內徑的比值在0.25～0.5之間，所述開孔的深度等于所述第二內徑與所述第一內徑的差值。

6.如權利要求1所述的蒸鍍源，其特征在于，所述本體包括第一部分以及與所述第一部分相連接的第二部分，所述第一部分具有第一內腔，所述第二部分具有第二內腔，所述第二內腔與所述第一內腔連通，所述第一內腔和所述第二內腔構成所述內腔，所述開孔開設在所述第二部分上并與所述第二內腔貫通。

7.如權利要求6所述的蒸鍍源，其特征在于，所述第二部分縱截面的形狀為弧形。

8.如權利要求1所述的蒸鍍源，其特征在于，所述本體包括第一部分以及與所述第一部分相連接的第二部分，所述第一部分具有第一內腔，所述第二部分具有第二內腔，所述第二內腔與所述第一內腔連通，所述第一內腔構成所述內腔，所述第二內腔直接形成為所述開孔。

9.如權利要求6-8中任意一項所述的蒸鍍源，其特征在于，所述本體還包括與所述第一部分相連接的第三部分，所述第三部分與所述第一部分共同形成有所述第一內腔；所述第二部分與所述第三部分中的至少一個與所述第一部分以可拆卸的方式連接。

10.一種蒸鍍設備，其特征在于，包括如權利要求1-9中任意一項所述的蒸鍍源。