[發(fā)明專利]加熱型離子注入機(jī)安全互鎖裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710276773.6
• 申請日: 2017-04-25
• 公開（公告）號: CN107039225B
• 公開（公告）日: 2018-07-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張俊;朱廣金
• 申請（專利權(quán)）人: 上海新傲科技股份有限公司
• 主分類號: H01J37/04
• 分類號: H01J37/04;H01J37/302;H01J37/317
• 代理公司: 上海盈盛知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤

本發(fā)明提供了一種加熱型離子注入機(jī)安全互鎖裝置，其包括電流互感器、控制器和加熱燈；所述控制器與加熱燈連接，用于控制加熱燈的開關(guān)狀態(tài)；電流互感器的一次側(cè)與靶盤馬達(dá)供電回路耦合，用于獲取靶盤馬達(dá)供電回路上的電流，二次側(cè)與控制器連接；電流互感器一次側(cè)的電流信號低于一閾值電流時，所述控制器控制所述加熱燈處于關(guān)閉狀態(tài)。本發(fā)明提供的加熱型離子注入機(jī)安全互鎖裝置，基于靶盤馬達(dá)的供電回路中電流的大小，來控制加熱燈是否通電，有效防止了因靶盤通訊故障導(dǎo)致的硬件損壞問題，對離子注入機(jī)本身和其處理的硅片都起到了很好的保護(hù)作用。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種加熱型離子注入機(jī)安全互鎖裝置。

背景技術(shù)

加熱型離子注入機(jī)在正常工藝過程中會有偶發(fā)性的靶盤通訊故障。所述靶盤通訊故障的具體表現(xiàn)為：靶盤實(shí)際已停止轉(zhuǎn)動，但是在控制系統(tǒng)上靶盤仍然顯示正常轉(zhuǎn)動，加熱燈正常工作，束流繼續(xù)注入硅片。在發(fā)生所述靶盤通訊故障后，停止轉(zhuǎn)動的靶盤上的硅片會被離子束(50mA@200kev)繼續(xù)轟擊后融化，繼而離子束會轟擊到硅片固定器，造成其損壞。同時，在加熱燈區(qū)域的硅片會因?yàn)榧訜釤舻某掷m(xù)加熱而發(fā)生形變。在現(xiàn)有技術(shù)中，為了解決這種故障，只能打開所述離子注入機(jī)的工藝腔體進(jìn)行處理，會造成較長時間的停機(jī)及硬件損壞。因此，如何防止發(fā)生靶盤通訊故障，防止所述離子注入機(jī)的硬件損壞，是目前亟待解決的技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種加熱型離子注入機(jī)安全互鎖裝置，用以防止靶盤通訊故障的發(fā)生，保護(hù)離子注入機(jī)的硬件安全。

為了解決上述問題，本發(fā)明提供了一種加熱型離子注入機(jī)安全互鎖裝置，包括電流互感器、控制器和加熱燈；所述控制器與所述加熱燈連接，用于控制所述加熱燈的開關(guān)狀態(tài)；所述電流互感器的一次側(cè)與靶盤馬達(dá)供電回路耦合，用于獲取靶盤馬達(dá)供電回路上的電流，所述電流互感器的二次側(cè)與所述控制器連接；所述電流互感器一次側(cè)的電流信號低于一閾值電流的情況下，所述控制器控制所述加熱燈處于關(guān)閉狀態(tài)。

優(yōu)選的，所述控制器為一開關(guān)組件；所述開關(guān)組件串聯(lián)在加熱燈與加熱燈電源之間。

優(yōu)選的，所述開關(guān)組件串聯(lián)至所述加熱燈電源的供電接觸器的線包電路上。

優(yōu)選的，所述開關(guān)組件為一電容器，所述電容器的兩端分別連接所述電流互感器二次側(cè)的兩輸出端。

優(yōu)選的，所述閾值電流低于靶盤馬達(dá)的工作電流。

優(yōu)選的，所述閾值電流為4A。

本發(fā)明提供的加熱型離子注入機(jī)安全互鎖裝置，基于靶盤馬達(dá)的供電回路中電流的大小，來控制加熱燈是否通電，有效防止了因靶盤通訊故障導(dǎo)致的硬件損壞問題，對離子注入機(jī)本身和其處理的硅片都起到了很好的保護(hù)作用。

附圖說明

附圖1是本發(fā)明具體實(shí)施方式的加熱型離子注入機(jī)安全互鎖裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

附圖2是本發(fā)明具體實(shí)施方式的加熱型離子注入機(jī)安全互鎖裝置的電路結(jié)構(gòu)圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明提供的加熱型離子注入機(jī)安全互鎖裝置的具體實(shí)施方式做詳細(xì)說明。

本具體實(shí)施方式提供了加熱型離子注入機(jī)安全互鎖裝置，附圖1是本發(fā)明具體實(shí)施方式的加熱型離子注入機(jī)安全互鎖裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，附圖2是本發(fā)明具體實(shí)施方式的加熱型離子注入機(jī)安全互鎖裝置的電路結(jié)構(gòu)圖。