[發明專利]加熱型離子注入機安全互鎖裝置

有效

• 申請號: 201710276773.6
• 申請日: 2017-04-25
• 公開（公告）號: CN107039225B
• 公開（公告）日: 2018-07-24
• 發明（設計）人: 張俊;朱廣金
• 申請（專利權）人: 上海新傲科技股份有限公司
• 主分類號: H01J37/04
• 分類號: H01J37/04;H01J37/302;H01J37/317
• 代理公司: 上海盈盛知識產權代理事務所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤

本發明提供了一種加熱型離子注入機安全互鎖裝置，其包括電流互感器、控制器和加熱燈；所述控制器與加熱燈連接，用于控制加熱燈的開關狀態；電流互感器的一次側與靶盤馬達供電回路耦合，用于獲取靶盤馬達供電回路上的電流，二次側與控制器連接；電流互感器一次側的電流信號低于一閾值電流時，所述控制器控制所述加熱燈處于關閉狀態。本發明提供的加熱型離子注入機安全互鎖裝置，基于靶盤馬達的供電回路中電流的大小，來控制加熱燈是否通電，有效防止了因靶盤通訊故障導致的硬件損壞問題，對離子注入機本身和其處理的硅片都起到了很好的保護作用。

技術領域

本發明涉及半導體技術領域，尤其涉及一種加熱型離子注入機安全互鎖裝置。

背景技術

加熱型離子注入機在正常工藝過程中會有偶發性的靶盤通訊故障。所述靶盤通訊故障的具體表現為：靶盤實際已停止轉動，但是在控制系統上靶盤仍然顯示正常轉動，加熱燈正常工作，束流繼續注入硅片。在發生所述靶盤通訊故障后，停止轉動的靶盤上的硅片會被離子束(50mA@200kev)繼續轟擊后融化，繼而離子束會轟擊到硅片固定器，造成其損壞。同時，在加熱燈區域的硅片會因為加熱燈的持續加熱而發生形變。在現有技術中，為了解決這種故障，只能打開所述離子注入機的工藝腔體進行處理，會造成較長時間的停機及硬件損壞。因此，如何防止發生靶盤通訊故障，防止所述離子注入機的硬件損壞，是目前亟待解決的技術問題。

發明內容

本發明提供一種加熱型離子注入機安全互鎖裝置，用以防止靶盤通訊故障的發生，保護離子注入機的硬件安全。

為了解決上述問題，本發明提供了一種加熱型離子注入機安全互鎖裝置，包括電流互感器、控制器和加熱燈；所述控制器與所述加熱燈連接，用于控制所述加熱燈的開關狀態；所述電流互感器的一次側與靶盤馬達供電回路耦合，用于獲取靶盤馬達供電回路上的電流，所述電流互感器的二次側與所述控制器連接；所述電流互感器一次側的電流信號低于一閾值電流的情況下，所述控制器控制所述加熱燈處于關閉狀態。

優選的，所述控制器為一開關組件；所述開關組件串聯在加熱燈與加熱燈電源之間。

優選的，所述開關組件串聯至所述加熱燈電源的供電接觸器的線包電路上。

優選的，所述開關組件為一電容器，所述電容器的兩端分別連接所述電流互感器二次側的兩輸出端。

優選的，所述閾值電流低于靶盤馬達的工作電流。

優選的，所述閾值電流為4A。

本發明提供的加熱型離子注入機安全互鎖裝置，基于靶盤馬達的供電回路中電流的大小，來控制加熱燈是否通電，有效防止了因靶盤通訊故障導致的硬件損壞問題，對離子注入機本身和其處理的硅片都起到了很好的保護作用。

附圖說明

附圖1是本發明具體實施方式的加熱型離子注入機安全互鎖裝置的結構示意圖；

附圖2是本發明具體實施方式的加熱型離子注入機安全互鎖裝置的電路結構圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明提供的加熱型離子注入機安全互鎖裝置的具體實施方式做詳細說明。

本具體實施方式提供了加熱型離子注入機安全互鎖裝置，附圖1是本發明具體實施方式的加熱型離子注入機安全互鎖裝置的結構示意圖，附圖2是本發明具體實施方式的加熱型離子注入機安全互鎖裝置的電路結構圖。