[發明專利]加熱型離子注入機安全互鎖裝置有效
| 申請號： | 201710276773.6 | 申請日： | 2017-04-25 |
| 公開（公告）號： | CN107039225B | 公開（公告）日： | 2018-07-24 |
| 發明（設計）人： | 張俊;朱廣金 | 申請（專利權）人： | 上海新傲科技股份有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/04 | 分類號： | H01J37/04;H01J37/302;H01J37/317 |
| 代理公司： | 上海盈盛知識產權代理事務所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孫佳胤 |
| 地址： | 201821 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 加熱 離子 注入 安全 互鎖 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種加熱型離子注入機安全互鎖裝置，其特征在于，包括電流互感器、控制器和加熱燈；
所述控制器與所述加熱燈連接，用于控制所述加熱燈的開關狀態；
所述電流互感器的一次側與靶盤馬達供電回路耦合，用于獲取靶盤馬達供電回路上的電流，所述電流互感器的二次側與所述控制器連接；
所述電流互感器一次側的電流信號低于一閾值電流的情況下，所述控制器控制所述加熱燈處于關閉狀態。
2.根據權利要求1所述的加熱型離子注入機安全互鎖裝置，其特征在于，所述控制器為一開關組件；所述開關組件串聯在加熱燈與加熱燈電源之間。
3.根據權利要求2所述的加熱型離子注入機安全互鎖裝置，其特征在于，所述開關組件串聯至所述加熱燈電源的供電接觸器的線包電路上。
4.根據權利要求2所述的加熱型離子注入機安全互鎖裝置，其特征在于，所述開關組件為一電容器，所述電容器的兩端分別連接所述電流互感器二次側的兩輸出端。
5.根據權利要求1所述的加熱型離子注入機安全互鎖裝置，其特征在于，所述閾值電流低于靶盤馬達的工作電流。
6.根據權利要求5所述的加熱型離子注入機安全互鎖裝置，其特征在于，所述閾值電流為4A。
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