[發明專利]一種制備薄膜的方法

有效

• 申請號: 201710269837.X
• 申請日: 2017-04-24
• 公開（公告）號: CN108728812B
• 公開（公告）日: 2020-07-14
• 發明（設計）人: 宋斌斌;郭凱;于濤;張傳升;左寧;李新連;趙樹利
• 申請（專利權）人: 國家能源投資集團有限責任公司;北京低碳清潔能源研究院
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54;C23C14/18;C23C14/34
• 代理公司: 北京潤平知識產權代理有限公司 11283
• 代理人: 王崇

本申請公開了一種薄膜的光學參數與制備工藝參數對應關系的確定方法，用于解決現有技術中不能定量地確定各層薄膜的致密度等性質的問題，包括：在多個預定制備工藝參數下分別制備薄膜；確定所述多個預定制備工藝參數下制備的各薄膜的光學參數，得到所述薄膜的光學參數與制備工藝參數對應關系，以便根據所述對應關系制備滿足制備需求的薄膜。本申請還公開了一種制備薄膜的方法。

技術領域

本申請涉及光電技術領域，尤其涉及一種制備薄膜的方法、以及一種薄膜的光學參數與制備工藝參數對應關系的確定方法。

背景技術

隨著微加工工藝的發展，薄膜在各個領域均得到了廣泛的應用，其中金屬薄膜在機械學科、電子學、磁學和光學等領域都有著重要的應用。薄膜制備工藝可以廣泛應用于光電技術領域，比如應用于銅銦鎵硒(CuInGaSe₂，CIGS)薄膜太陽能電池的制備中。

在制備薄膜的過程中，往往會根據不同的需求來制備致密度不同的薄膜，比如，CIGS薄膜太陽能電池的鉬背電極層往往包含多層致密度不同的鉬膜，其中，第一層鉬膜用于與CIGS薄膜太陽能電池的襯底緊密結合，該層薄膜的疏松度較高時太陽能電池的性能會較好，第二層鉬膜用于降低電阻率，則該層薄膜密度較高時太陽能電池的性能會較好。

在現有技術中，當期望制備致密度不同的薄膜時，不能定量地確定各層薄膜的致密度等性質。

發明內容

本申請實施例提供一種薄膜的光學參數與制備工藝參數對應關系的確定方法，用于解決現有技術中不能定量地確定各層薄膜的致密度等性質的問題。

本申請實施例提供一種制備薄膜的方法，用于解決現有技術中不能定量地確定各層薄膜的致密度等性質的問題。

本申請實施例采用下述技術方案：

一種薄膜的光學參數與制備工藝參數對應關系的確定方法，包括：

在多個預定制備工藝參數下分別制備薄膜；

確定所述多個預定制備工藝參數下制備的各薄膜的光學參數，得到所述薄膜的光學參數與制備工藝參數對應關系，以便根據所述對應關系制備滿足制備需求的薄膜。

一種制備薄膜的方法，包括：

根據待制備薄膜的制備需求、第一對應關系和第二對應關系，確定制備所述薄膜的制備工藝參數和制備時間，其中，所述制備需求包括待制備薄膜的厚度和光學參數，所述第一對應關系為所述薄膜的光學參數與制備工藝參數對應關系，所述第二對應關系為所述薄膜的制備時間與厚度的對應關系；

根據確定的制備工藝參數和制備時間，制備所述薄膜。

本申請實施例采用的上述至少一個技術方案能夠達到以下有益效果：

本申請中，能夠根據待制備薄膜的制備需求、第一對應關系和第二對應關系，確定制備該薄膜的制備工藝參數和制備時間，其中，制備需求包括待制備薄膜的厚度和光學參數，第一對應關系為該薄膜的光學參數與制備工藝參數對應關系，第二對應關系為該薄膜的制備時間與厚度的對應關系，然后根據確定的制備工藝參數和制備時間，制備該薄膜。本申請中，通過薄膜的光學參數來定量地表征薄膜的致密度等性質，這樣便能夠通過薄膜的光學參數定量地表征薄膜的制備需求，當期望制備某種致密度的薄膜時，可以通過光學參數和制備工藝參數之間的對應關系，通過控制制備工藝參數來制備符合制備需求的薄膜。

附圖說明

此處所說明的附圖用來提供對本申請的進一步理解，構成本申請的一部分，本申請的示意性實施例及其說明用于解釋本申請，并不構成對本申請的不當限定。在附圖中：

圖1為本申請實施例提供的一種鉬背電極層的結構示意圖；

圖2為本申請實施例提供的濺射氣壓為0.1Pa時制備的鉬膜的測量值和擬合值示意圖；