[發明專利]存儲單元扭曲測量方法

有效

• 申請號: 201710261598.3
• 申請日: 2017-04-20
• 公開（公告）號: CN107084697B
• 公開（公告）日: 2019-06-28
• 發明（設計）人: 劉磊;陸磊;周第廷
• 申請（專利權）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號: G01B21/20
• 分類號: G01B21/20;G11C29/56
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種存儲單元扭曲測量方法，其特征在于，所述存儲單元扭曲測量方法包括：

確定所述存儲單元的左邊界和左基準線，和/或確定所述存儲單元的右邊界和右基準線；

計算所述左邊界與所述左基準線的方差，和/或計算所述右邊界與所述右基準線的方差；

其中，所述方差與所述存儲單元的扭曲程度呈正比；

所述確定所述存儲單元的左基準線和/或右基準線包括：

將垂直方向設置為所述左基準線和所述右基準線的方向；

在所述左邊界上選擇多個左基準線采集點，并采集多個所述左基準線采集點在垂直方向上的坐標值，將所述左基準線采集點在垂直方向上的坐標值進行平均計算，獲得第一平均值，將所述第一平均值作為所述左基準線在垂直方向上的坐標值；

在所述右邊界上選擇多個右基準線采集點，并采集多個所述右基準線采集點在垂直方向上的坐標值，將所述右基準線采集點在垂直方向上的坐標值進行平均計算，獲得第二平均值，將所述第二平均值作為所述右基準線在垂直方向上的坐標值；

所述存儲單元的數量為多個，多個所述存儲單元設置在一存儲器件中，所述存儲器件包括上邊界和下邊界，或者所述存儲單元的數量為單個，所述存儲單元還包括上邊界和下邊界；

將所述左基準線和/或所述右基準線延伸，直至與所述上邊界和所述下邊界相交。

2.如權利要求1所述的存儲單元扭曲測量方法，其特征在于，所述確定所述存儲單元的左邊界和/或右邊界包括：

通過掃描對所述存儲單元的圖像的灰度值進行采集；

根據所述灰度值對所述存儲單元的圖像進行處理，大于一閾值灰度值的圖像部分存儲為黑色圖像，小于所述閾值灰度值的圖像部分存儲為白色圖像；

以所述黑色圖像為基準，若其自身與所述白色圖像的邊界位于其自身的左邊，則所述邊界為左邊界，若其自身與所述白色圖像的邊界位于其自身的右邊，則所述邊界為右邊界。

3.如權利要求2所述的存儲單元扭曲測量方法，其特征在于，當所述存儲單元的數量為多個時，所述上邊界到所述下邊界的最短距離為所述垂直方向；

多個所述存儲單元沿所述垂直方向排列。

4.如權利要求2所述的存儲單元扭曲測量方法，其特征在于，當所述存儲單元的數量為單個時，所述上邊界到所述下邊界的最短距離為所述垂直方向。

5.如權利要求3或4所述的存儲單元扭曲測量方法，其特征在于，計算所述左邊界與所述左基準線的方差包括：

在已確定的所述左邊界上選擇多個左方差采集點，采集多個所述左方差采集點在垂直方向上的坐標值，多個所述左方差采集點在垂直方向上的坐標值均減去所述第一平均值，得到多個差值，分別計算多個所述差值的平方值并計算多個所述平方值的平均值，得到第三平均值，所述第三平均值為所述左邊界與所述左基準線的方差。

6.如權利要求5所述的存儲單元扭曲測量方法，其特征在于，計算所述右邊界與所述右基準線的方差包括：

在已確定的所述右邊界上選擇多個右方差采集點，采集多個所述右方差采集點在垂直方向上的坐標值，多個所述右方差采集點在垂直方向上的坐標值均減去所述第二平均值，得到多個差值，分別計算多個所述差值的平方值并計算多個所述平方值的平均值，得到第四平均值，所述第四平均值為所述右邊界與所述右基準線的方差。

7.如權利要求6所述的存儲單元扭曲測量方法，其特征在于，所述存儲單元扭曲測量方法包括：

確定所述存儲單元的中心線；

確定所述存儲單元的中心基準線；

計算所述中心線和所述中心基準線的方差。