[發明專利]一種減壓擴散爐爐口的密封裝置

有效

• 申請號: 201710259508.7
• 申請日: 2017-04-20
• 公開（公告）號: CN107090594B
• 公開（公告）日: 2019-03-15
• 發明（設計）人: 吳俊旻;常青;扈靜;閆濤;李家棟
• 申請（專利權）人: 通威太陽能（合肥）有限公司
• 主分類號: C30B31/06
• 分類號: C30B31/06;H01L21/223;H01L31/18
• 代理公司: 昆明合眾智信知識產權事務所 53113
• 代理人: 張璽

本發明涉及太陽能電池板制造設備技術領域，尤其為一種減壓擴散爐爐口的密封裝置，包括石英管及爐門，爐門包括內層及外層，內層與外層間設有冷卻腔，內層設有外圈及內圈，外圈及內圈之間設有放置槽，外圈裝有密封圈，外圈另一側設有卡槽，內層與外層在端面處設有回水腔，回水腔與冷卻腔連通，冷卻腔處設有進水口，回水腔處設有出水口，外層的端蓋設有圓柱，端蓋上還設有多個支撐桿，支撐桿通過銷連接支撐爪，支撐爪的一端卡接于卡槽，另一端活動鏈接塊，所述塊設于圓管上，所述圓管套設在圓桿上，所述圓桿的一端與圓柱螺紋連接，另一端設有方形塊。加強爐門的密封性及爐內溫度平穩。

技術領域

本發明涉及太陽能電池板制造設備技術領域，具體為一種減壓擴散爐爐口的密封裝置。

背景技術

在光伏行業中，高溫擴散爐主要用于對硅片進行摻雜形成PN結。隨著對太陽能電池片質量的要求越來越高，傳統的常壓高溫擴散爐的摻雜均勻性已經無法滿足電池片的質量要求，因此低壓擴散爐應運而生，然而低壓擴散工藝需要在低于常壓的環境下進行，爐門的密封性能直接影響生產質量。

現有技術中的爐門密封裝置，多數都是靠爐門密封圈與石英爐的擠壓，依靠密封圈的自身變形達到密封的目的，無法達到密封要求，因此加強爐門的密封性非常必要。

發明內容

本發明的目的在于提供一種減壓擴散爐爐口的密封裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。所述減壓擴散爐爐口的密封裝置具有增強爐門密封性的特點。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：

一種減壓擴散爐爐口的密封裝置，包括石英管及爐門，所述爐門包括由螺栓連接的內層及外層，內層與外層在圓周連接處設有冷卻腔，所述內層在圓周處設有外圈及內圈，所述外圈及內圈之間設有放置槽，外圈靠近放置槽一側裝有密封圈，外圈另一側且靠近密封圈處設有卡槽，內層與外層在端面連接處設有回水腔，所述回水腔與冷卻腔連通，冷卻腔處設有進水口，回水腔處設有出水口，所述外層的端蓋中間設有圓柱，所述端蓋上繞圓柱還設有多個支撐桿，所述支撐桿活動連接支撐爪，支撐爪的一端卡接于卡槽，另一端活動鏈接塊，所述塊設于圓管上，所述圓管套設在圓桿上，所述圓桿的一端與圓柱螺紋連接，另一端設有方形塊。

優選的，所述卡槽內設有軟膠墊。

優選的，所述支撐爪卡接于卡槽的一端設有凸起，另一端設有沉孔，塊位于沉孔內。

優選的，所述沉孔內裝有彈簧，所述彈簧靠近沉孔孔口的一端連接塊。

優選的，所述支撐爪上在與支撐桿連接處設有方形槽，方形槽的長度大于支撐桿的寬度。

優選的，所述支撐桿的端部設有通孔并位于方形槽內，銷穿過通孔及方形槽連接支撐爪。

優選的，所述外圈及內圈之間放置槽的槽寬與石英管的厚度匹配，槽寬大于石英管的厚度。

優選的，所述圓柱中心凹槽的底部設有貫通的小孔。

優選的，所述內圈上設有多個插槽，靠近石英管處插入隔熱板，靠近爐門處插入導熱板。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：本石英管放入放置槽并緊貼密封圈，向外旋出圓桿，支撐爪抓住在爐門外圈的卡槽內，并壓緊卡槽；卡槽靠近密封圈，支撐爪壓緊卡槽后，使密封圈進一步壓緊，加強爐門的密封性，避免在負壓狀態下，外接污染源進入石英管內，影響電池片的擴散質量；另一方面冷卻腔冷卻后的水進入回水腔，提高爐門端蓋的溫度，縮小爐門與石英管之間的溫差，保證石英管內部的熱平衡。

附圖說明

圖1為本發明結構示意圖；

圖2為本發明支撐爪打開示意圖；

圖3為本發明爐門側視圖；

圖4為本發明A-A剖視圖。