[發(fā)明專利]一種減壓擴散爐爐口的密封裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710259508.7
• 申請日: 2017-04-20
• 公開（公告）號: CN107090594B
• 公開（公告）日: 2019-03-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳俊旻;常青;扈靜;閆濤;李家棟
• 申請（專利權(quán)）人: 通威太陽能（合肥）有限公司
• 主分類號: C30B31/06
• 分類號: C30B31/06;H01L21/223;H01L31/18
• 代理公司: 昆明合眾智信知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 53113
• 代理人: 張璽

1.一種減壓擴散爐爐口的密封裝置，包括石英管(1)及爐門(2)，所述爐門(2)包括由螺栓(14)連接的內(nèi)層(201)及外層(202)，內(nèi)層(201)與外層(202)在圓周連接處設(shè)有冷卻腔(23)，所述內(nèi)層(201)在圓周處設(shè)有外圈及內(nèi)圈(21)，所述外圈及內(nèi)圈(21)之間設(shè)有放置槽，外圈靠近放置槽一側(cè)裝有密封圈(4)，其特征在于，外圈另一側(cè)且靠近密封圈(4)處設(shè)有卡槽(22)，內(nèi)層(201)與外層(202)在端面連接處設(shè)有回水腔(231)，所述回水腔(231)與冷卻腔(23)連通，冷卻腔(23)處設(shè)有進水口(12)，回水腔(231)處設(shè)有出水口(13)，所述外層(202)的端蓋中間設(shè)有圓柱(25)，所述端蓋上繞圓柱(25)還設(shè)有多個支撐桿(24)，所述支撐桿(24)活動連接支撐爪(6)，支撐爪(6)的一端卡接于卡槽(22)，另一端活動鏈接塊(81)，所述塊(81)設(shè)于圓管(8)上，所述圓管(8)套設(shè)在圓桿(7)上，所述圓桿(7)的一端與圓柱(25)螺紋連接，另一端設(shè)有方形塊(72)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種減壓擴散爐爐口的密封裝置，其特征在于：所述卡槽(22)內(nèi)設(shè)有軟膠墊(5)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種減壓擴散爐爐口的密封裝置，其特征在于：所述支撐爪(6)卡接于卡槽(22)的一端設(shè)有凸起(61)，另一端設(shè)有沉孔(62)，塊(81)位于沉孔(62)內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種減壓擴散爐爐口的密封裝置，其特征在于：所述沉孔(62)內(nèi)裝有彈簧(9)，所述彈簧(9)靠近沉孔(62)孔口的一端連接塊(81)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種減壓擴散爐爐口的密封裝置，其特征在于：所述支撐爪(6)上在與支撐桿(24)連接處設(shè)有方形槽，方形槽的長度大于支撐桿(24)的寬度。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種減壓擴散爐爐口的密封裝置，其特征在于：所述支撐桿(24)的端部設(shè)有通孔并位于方形槽內(nèi)，銷穿過通孔及方形槽連接支撐爪(6)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種減壓擴散爐爐口的密封裝置，其特征在于：所述外圈及內(nèi)圈(21)之間放置槽的槽寬與石英管(1)的厚度匹配，槽寬大于石英管(1)的厚度。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種減壓擴散爐爐口的密封裝置，其特征在于：所述圓柱(25)中心凹槽的底部設(shè)有貫通的小孔。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種減壓擴散爐爐口的密封裝置，其特征在于：所述內(nèi)圈(21)上設(shè)有多個插槽，靠近石英管(1)處插入隔熱板(3)，靠近爐門(2)處插入導(dǎo)熱板(11)。