[發(fā)明專利]檢測裝置、檢測方法、程序、光刻裝置和物品制造方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710247044.8 | 申請日： | 2017-04-17 |
| 公開（公告）號： | CN107305320B | 公開（公告）日： | 2020-12-29 |
| 發(fā)明（設計）人： | 坂本憲稔 | 申請（專利權）人： | 佳能株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中國貿(mào)促會專利商標事務所有限公司 11038 | 代理人： | 宋巖 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 檢測 裝置 方法 程序 光刻 物品 制造 | ||
1.一種檢測裝置，所述檢測裝置檢測在保持以移動對象的載置臺上的標記或者在由載置臺保持的對象上的標記，其特征在于，所述裝置包括：
成像設備，被配置成執(zhí)行標記的成像；和
控制器，被配置成控制所述成像設備，
其中所述控制器被配置成控制所述成像設備以使得：在載置臺的位置與目標位置的偏差收斂在容差內(nèi)之前，所述成像設備在所述偏差在所述容差內(nèi)的時間段中執(zhí)行成像，并在所述偏差不在所述容差內(nèi)時不執(zhí)行成像。
2.根據(jù)權利要求1所述的檢測裝置，其中，所述控制器被配置成基于來自被配置成測量所述載置臺的位置的測量設備的輸出來控制所述成像的時間段。
3.根據(jù)權利要求1所述的檢測裝置，其中，所述控制器被配置成控制所述成像設備以使得：所述成像設備在所述偏差收斂在所述容差內(nèi)之前所述偏差在所述容差內(nèi)時的多個不連續(xù)的時間段中執(zhí)行成像。
4.根據(jù)權利要求1所述的檢測裝置，其中，所述控制器被配置成控制所述成像設備以使得在通過所述成像獲得的信號的強度滿足容許條件的情況下，所述成像的時間段結(jié)束。
5.根據(jù)權利要求2所述的檢測裝置，其中，所述控制器被配置成基于所述成像設備的輸出和所述測量設備的輸出來獲得所述標記的位置。
6.根據(jù)權利要求5所述的檢測裝置，其中，所述控制器被配置成基于在所述偏差在所述容差內(nèi)的時間段中所述載置臺的位置的代表性值來獲得所述標記的位置。
7.根據(jù)權利要求1所述的檢測裝置，其中，所述控制器被配置成通過控制包括在所述成像設備中的圖像傳感器的電子快門或包括在所述成像設備中的用于照明所述標記的光源來控制所述成像的時間段。
8.一種檢測方法，所述檢測方法檢測在保持以移動對象的載置臺上的標記或者在由載置臺保持的對象上的標記，其特征在于，所述方法包括以下步驟：
在載置臺的位置與目標位置的偏差收斂在容差內(nèi)之前，在所述偏差在所述容差內(nèi)的時間段中執(zhí)行對標記的成像以檢測標記，而在所述偏差不在所述容差內(nèi)時不執(zhí)行成像。
9.一種在基板上形成圖案的光刻裝置，其特征在于，所述裝置包括：
根據(jù)權利要求1所述的檢測裝置，被配置成檢測在保持以移動所述基板的載置臺上的標記或者在由載置臺保持的所述基板上的標記。
10.一種制造物品的方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：
使用根據(jù)權利要求9所述的光刻裝置在基板上形成圖案；和
處理其上已經(jīng)形成圖案的基板以制造物品。
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