[發明專利]一種柔性顯示裝置的制作方法及柔性顯示裝置

有效

• 申請號: 201710239608.3
• 申請日: 2017-04-13
• 公開（公告）號: CN106935547B
• 公開（公告）日: 2020-04-14
• 發明（設計）人: 劉陸
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L21/77
• 分類號: H01L21/77;H01L27/32
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;劉偉

本發明提供一種柔性顯示裝置的制作方法及柔性顯示裝置。其中，制作方法包括：提供一剛性載板；在剛性載板上設置由軟玻璃形成的柔性襯底基板，柔性襯底基板包括保留區和非保留區；在柔性襯底基板的保留區形成柔性顯示裝置的顯示器件；對柔性襯底基板進行切割，以將柔性襯底基板的保留區與非保留區分離；將保留區的柔性襯底基板從所述剛性載板上機械剝離。本發明的方案采用軟玻璃材料作為柔性襯底基板，經反復實踐證明，軟玻璃的柔性襯底基板只需要通過機械剝離方式即可輕松地從剝離載臺上脫離，而機械分離是成本低、易于實施的一種實現方式，且相比于激光分離和刻蝕分離，不易對顯示器件產生損壞，因此本發明的方案具有較高的實用價值。

技術領域

本發明涉及顯示器的制作領域，特別是指一種柔性顯示裝置的制作方法及柔性顯示裝置。

背景技術

目前柔性顯示設備的制作工藝有卷對卷和片對片兩種制造方式。片對片生產模式可以很好的利用LCD的生產工藝和設備，具體的方法是將柔性襯底基板制作在玻璃載臺上，然后在柔性襯底基板上進一步制作顯示器件，之后再將柔性襯底基板與玻璃載臺分離。

關于柔性襯底基板技術，目前各大公司主流的研究方向都是塑料襯底基板。

目前各個公司都推出了相關的塑料襯底基板分離的技術。例如：

飛利浦公司的laser release技術，這種技術采用激光來破壞柔性基板與玻璃接著的界面來達到分離效果，缺點是設備投資昂貴；

Sony公司的Etching Stopper Process技術，這種技術將玻璃基板在氫氟酸的條件下蝕刻掉，其缺點是工藝流程比較復雜，在蝕刻玻璃基板過程中，顯示器件易受到蝕刻源的污染；

美國亞利桑那州立大學柔性研究中心提出的一種bond-debond工藝來制作柔性器件，bond-debond技術是使用丙烯酸類光固化樹脂為粘合劑將塑料基板粘合到玻璃載臺上，而這種粘合劑所能承受的溫度低于200℃，不適合顯示器件的高溫制作要求。

可見，現有技術使用塑料作為柔性襯底基板，導致在柔性襯底基板從玻璃載臺剝離的過程中帶來一定的缺陷，因此不具有較高的實用價值。

發明內容

本發明提供一種使用機械分離將柔性襯底基板從剛性載板分離的技術方案。

一方面，本發明的實施例提供一種柔性顯示裝置的制作方法，包括：

提供一剛性載板；

在所述剛性載板上設置由軟玻璃形成的柔性襯底基板，所述柔性襯底基板包括保留區和非保留區；

在所述柔性襯底基板的保留區形成柔性顯示裝置的顯示器件；

對所述柔性襯底基板進行切割，以將所述柔性襯底基板的保留區與非保留區分離；

將保留區的柔性襯底基板從所述剛性載板上機械剝離。

其中，將保留區的柔性襯底基板從所述剛性載板上機械剝離之后，所述方法還包括：

在所述保留區的柔性襯底基板背向所述顯示器件的一側形成柔性增強層。

其中，所述柔性增強層的形成材料包括：聚酰亞胺、聚對苯二甲酸乙二醇酯和聚萘二甲酸乙二醇酯中的一者或任意幾者的組合。

其中，在所述剛性載板上設置由軟玻璃形成的柔性襯底基板，包括：

在真空環境下，使用高溫膠將柔性襯底基板粘結在剛性載板上；或者

在真空環境下，使用靜電吸附方式將柔性襯底基板吸附在剛性載板上。

其中，對所述柔性襯底基板進行切割之前，所述方法還包括：

在所述柔性襯底基板的保留區形成覆蓋所述顯示器件的保護層。