[發(fā)明專利]一種柔性顯示裝置的制作方法及柔性顯示裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201710239608.3 | 申請(qǐng)日: | 2017-04-13 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN106935547B | 公開(kāi)(公告)日: | 2020-04-14 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 劉陸 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 京東方科技集團(tuán)股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/77 | 分類號(hào): | H01L21/77;H01L27/32 |
| 代理公司: | 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243 | 代理人: | 許靜;劉偉 |
| 地址: | 100015 *** | 國(guó)省代碼: | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 柔性 顯示裝置 制作方法 | ||
1.一種柔性顯示裝置的制作方法,其特征在于,包括:
提供一剛性載板;
在所述剛性載板上設(shè)置由軟玻璃形成的柔性襯底基板,所述柔性襯底基板包括保留區(qū)和非保留區(qū),柔性襯底基板與剛性載板之間接觸設(shè)置;
在所述柔性襯底基板的保留區(qū)形成柔性顯示裝置的顯示器件;
對(duì)所述柔性襯底基板進(jìn)行切割,以將所述柔性襯底基板的保留區(qū)與非保留區(qū)分離;
將保留區(qū)的柔性襯底基板從所述剛性載板上機(jī)械剝離;
將保留區(qū)的柔性襯底基板從所述剛性載板上機(jī)械剝離之后,所述方法還包括:
在所述保留區(qū)的柔性襯底基板背向所述顯示器件的一側(cè)形成柔性增強(qiáng)層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制作方法,其特征在于,
所述柔性增強(qiáng)層的形成材料包括:聚酰亞胺、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯和聚萘二甲酸乙二醇酯中的一者或任意幾者的組合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制作方法,其特征在于,
在所述剛性載板上設(shè)置由軟玻璃形成的柔性襯底基板,包括:
在真空環(huán)境下,使用高溫膠將柔性襯底基板粘結(jié)在剛性載板上;或者
在真空環(huán)境下,使用靜電吸附方式將柔性襯底基板吸附在剛性載板上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制作方法,其特征在于,對(duì)所述柔性襯底基板進(jìn)行切割之前,所述方法還包括:
在所述柔性襯底基板的保留區(qū)形成覆蓋所述顯示器件的保護(hù)層。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的制作方法,其特征在于,還包括:
在形成柔性增強(qiáng)層后,去除所述保護(hù)層,并在所述柔性襯底基板背向所述顯示器件的一側(cè)形成偏光片和/或柔性電路。
6.一種柔性顯示裝置,其特征在于,采用如權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的方法制作,所述柔性顯示裝置包括:
柔性襯底基板;
位于所述柔性襯底基板上的顯示器件;
其中,所述柔性襯底基板由軟玻璃形成;
還包括:
形成在所述柔性襯底基板背向所述顯示器件一側(cè)的柔性增強(qiáng)層。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的柔性顯示裝置,其特征在于,
所述柔性增強(qiáng)層的形成材料包括:聚酰亞胺、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯和聚萘二甲酸乙二醇酯中的一者或任意幾者的組合。
8.根據(jù)權(quán)利要求6-7任一項(xiàng)所述的柔性顯示裝置,其特征在于,
所述柔性襯底基板的厚度為10um-30um。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





