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[發明專利]氯硅烷廢液的回收方法在審

專利信息
申請號: 201710237329.3 申請日: 2017-04-12
公開(公告)號: CN106927470A 公開(公告)日: 2017-07-07
發明(設計)人: 蔣國瑜;張升學;湯傳斌;嚴大洲 申請(專利權)人: 中國恩菲工程技術有限公司
主分類號: C01B33/107 分類號: C01B33/107
代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司11240 代理人: 韓建偉,謝湘寧
地址: 100038*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 硅烷 廢液 回收 方法
【權利要求書】:

1.一種氯硅烷廢液的回收方法,其特征在于,所述回收方法包括:

將所述氯硅烷廢液進行噴霧干燥,得到氣固混合物,所述氯硅烷廢液包括四氯化硅液體、硅粉、氯化鋁、氯化鐵和氯化鈦;及

將所述氣固混合物進行氣固分離,得到粗氯硅烷氣體和固渣。

2.根據權利要求1所述的回收方法,其特征在于,所述回收方法還包括:

在進行所述噴霧干燥的過程之前,先將所述氯硅烷廢液進行蒸發,得到氯硅烷氣體和蒸余液;及

將所述蒸余液進行所述噴霧干燥過程,得到所述氣固混合物。

3.根據權利要求2所述的回收方法,其特征在于,所述蒸發過程的溫度為55~100℃,蒸發表壓為0~0.3MPa。

4.根據權利要求2所述的回收方法,其特征在于,所述回收方法還包括:

在進行所述蒸發過程之前,將所述氯硅烷廢液與絡合劑氯化鈉混合后,過濾得到濾液和濾渣;及

將所述濾液進行所述蒸發過程,得到所述氯硅烷氣體和所述蒸余液。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的回收方法,其特征在于,所述噴霧干燥過程還包括:

將載氣加熱至150~250℃,得到加熱載氣;及

在所述加熱載氣的作用下進行所述噴霧干燥過程,得到所述氣固混合物。

6.根據權利要求5所述的回收方法,其特征在于,所述載氣選自氮氣。

7.根據權利要求5所述的回收方法,其特征在于,將所述粗氯硅烷氣體和所述氯硅烷氣體進行冷凝,得到氯硅烷液體。

8.根據權利要求7所述的回收方法,其特征在于,在所述加熱載氣的作用下進行所述噴霧干燥過程時,所述冷凝過程的產物還包括不凝氣,將所述不凝氣作為所述載氣循環利用。

9.根據權利要求1所述的回收方法,其特征在于,所述氣固分離的方法為采用旋風收塵器、過濾式收塵器和電收塵器組成的組中的一種或多種進行所述氣固分離。

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