[發(fā)明專利]噴墨打印成膜方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710231008.2
• 申請(qǐng)日: 2017-04-10
• 公開（公告）號(hào): CN106960922B
• 公開（公告）日: 2019-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 崔穎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L51/56
• 分類號(hào): H01L51/56;H01L51/50
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 陳平

本公開提供一種噴墨打印成膜方法。所述方法包括：噴墨打印步驟：在基板上通過噴墨打印形成墨水的液滴；和旋轉(zhuǎn)干燥步驟：在使基板旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，干燥基板上的墨水的液滴，從而使墨水的液滴形成膜。所述方法可提高噴墨打印器件性能，提高整個(gè)基板的成膜均勻性。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開涉及噴墨打印成膜方法。

背景技術(shù)

在各種成膜技術(shù)中，溶液成膜技術(shù)越來越受到人們的重視。所謂溶液成膜，即把所需材料經(jīng)過處理，例如分散成納米級(jí)的微小顆粒，然后溶解在相應(yīng)的溶劑中，再利用其他設(shè)備將該溶液淀積在基板表面，待溶劑蒸發(fā)后，即可在基板表面形成所需薄膜。

噴墨打印是溶液成膜技術(shù)中較為重要的一種，并因其具有操作簡(jiǎn)單、成本低廉、工藝簡(jiǎn)單、及易于實(shí)現(xiàn)大尺寸等優(yōu)點(diǎn)，而被廣泛應(yīng)用于制備發(fā)光顯示中的彩色濾光片、有機(jī)薄膜晶體管、金屬電極以及三維隔離墻等，以及用于制備發(fā)光器件，都取得了很好的成果。尤其是在有機(jī)發(fā)光器件(OLED)等自發(fā)光器件的加工生產(chǎn)中，噴墨打印因其成本低、效率高等多重優(yōu)勢(shì)備受矚目。

申請(qǐng)人在實(shí)踐中發(fā)現(xiàn)，盡管噴墨打印具有諸多的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，但噴墨打印的成膜在性能上相對(duì)傳統(tǒng)的蒸鍍等有所不足，因此本領(lǐng)域，尤其是在在基板上形成陣列式的打印圖案形式的薄膜等具體應(yīng)用中，依舊存在改進(jìn)噴墨打印技術(shù)的需要。。

另外，在噴墨打印后的真空干燥的過程中，由于真空干燥抽氣口的位置固定，致使整塊基板的不同位置成膜均勻性不一致。

發(fā)明內(nèi)容

因此，需要提供一種噴墨打印成膜方法，所述方法可以使噴墨打印具有良好的成膜狀態(tài)，從而提高噴墨打印器件性能。

另外，還需要提供一種噴墨打印成膜方法，所述方法可以提高整個(gè)基板的成膜均勻性，不會(huì)由于真空干燥抽氣口的位置固定，致使整塊基板的不同位置成膜均勻性不一致。

因此，在本公開的一個(gè)方面，提供一種噴墨打印成膜方法，所述方法包括：

噴墨打印步驟：在基板上通過噴墨打印形成墨水的液滴；和，

旋轉(zhuǎn)干燥步驟：在使基板旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，干燥基板上的墨水的液滴，從而使墨水的液滴形成膜。

根據(jù)本公開的一個(gè)實(shí)施方案，所述方法還包括：在噴墨打印步驟和旋轉(zhuǎn)干燥步驟之間的預(yù)干燥步驟：將墨水的液滴預(yù)干燥，以除去液滴中的一部分溶劑。

根據(jù)本公開的另一個(gè)實(shí)施方案，在所述旋轉(zhuǎn)干燥步驟中，使所述基板以50至1000轉(zhuǎn)/分鐘或者100至800轉(zhuǎn)/分鐘的速度旋轉(zhuǎn)。

根據(jù)本公開的另一個(gè)實(shí)施方案，所述旋轉(zhuǎn)干燥選自真空旋轉(zhuǎn)干燥和加熱旋轉(zhuǎn)干燥中的至少一種。

根據(jù)本公開的另一個(gè)實(shí)施方案，所述旋轉(zhuǎn)干燥是真空旋轉(zhuǎn)干燥，并且所述真空旋轉(zhuǎn)干燥的真空度是2至100pa。

根據(jù)本公開的另一個(gè)實(shí)施方案，所述真空旋轉(zhuǎn)干燥進(jìn)行1至30分鐘。

根據(jù)本公開的另一個(gè)實(shí)施方案，所述預(yù)干燥選自真空預(yù)干燥和加熱預(yù)干燥中的至少一種。

根據(jù)本公開的另一個(gè)實(shí)施方案，所述預(yù)干燥是真空預(yù)干燥，并且所述真空預(yù)干燥的真空度是1000至20000pa。

根據(jù)本公開的另一個(gè)實(shí)施方案，所述真空預(yù)干燥進(jìn)行1至5分鐘。

根據(jù)本公開的另一個(gè)實(shí)施方案，所述預(yù)干燥步驟和所述旋轉(zhuǎn)干燥步驟在同一真空干燥腔中進(jìn)行，其中所述真空干燥腔具有用于放置所述基板的基板放置機(jī)臺(tái)，其中所述基板放置機(jī)臺(tái)具有旋轉(zhuǎn)的功能。

根據(jù)本公開的另一個(gè)實(shí)施方案，所述預(yù)干燥步驟是在25至50℃加熱1至10分鐘的預(yù)干燥步驟，并且所述旋轉(zhuǎn)干燥步驟是在25至50℃加熱1至15分鐘的旋轉(zhuǎn)干燥步驟。