[發明專利]噴墨打印成膜方法

有效

• 申請號: 201710231008.2
• 申請日: 2017-04-10
• 公開（公告）號: CN106960922B
• 公開（公告）日: 2019-03-12
• 發明（設計）人: 崔穎
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L51/50
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 陳平

1.一種噴墨打印成膜方法，所述方法包括：

噴墨打印步驟：在基板上通過噴墨打印形成墨水的液滴；和

真空旋轉干燥步驟：在使基板旋轉的同時，真空干燥基板上的墨水的液滴，從而使墨水的液滴形成膜，

其中在所述真空旋轉干燥步驟中，使所述基板以150至800轉/分鐘的速度旋轉。

2.根據權利要求1所述的方法，所述方法還包括：在所述噴墨打印步驟和所述真空旋轉干燥步驟之間的預干燥步驟：將墨水的液滴預干燥，以除去液滴中的部分溶劑。

3.根據權利要求1所述的方法，其中所述真空旋轉干燥的真空度是2至100pa。

4.根據權利要求1所述的方法，其中所述真空旋轉干燥進行1至30分鐘。

5.根據權利要求2所述的方法，其中所述預干燥選自真空預干燥和加熱預干燥中的至少一種。

6.根據權利要求5所述的方法，其中所述預干燥是真空預干燥，并且所述真空預干燥的真空度是1000至20000pa。

7.根據權利要求5所述的方法，其中所述真空預干燥進行1至5分鐘。

8.根據權利要求2所述的方法，其中所述預干燥步驟和所述真空旋轉干燥步驟在同一真空干燥腔中進行，其中所述真空干燥腔具有用于放置所述基板的基板放置機臺，其中所述基板放置機臺具有旋轉的功能。

9.根據權利要求2所述的方法，其中所述預干燥步驟是在25至50℃加熱1至10分鐘的預干燥步驟，并且所述真空旋轉干燥步驟是在25至50℃加熱1至15分鐘的真空旋轉干燥步驟。

10.根據權利要求1所述的方法，其中在所述噴墨打印步驟中，形成的墨水的液滴的大小是1至30pl。

11.根據權利要求1所述的方法，其中所述基板是用于發光顯示中的彩色濾光片、有機薄膜晶體管、金屬電極或三維隔離墻的基板。

12.根據權利要求1所述的方法，其中所述基板是用于發光器件的基板，其中形成的膜包括空穴注入層、空穴傳輸層和發光層中的一種或多種。