[發(fā)明專利]動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器元件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710224324.7
• 申請日: 2017-04-07
• 公開（公告）號(hào): CN108695325B
• 公開（公告）日: 2019-08-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔡綜穎;何建廷;魏銘德;馮立偉;王嫈喬
• 申請（專利權(quán)）人: 聯(lián)華電子股份有限公司;福建省晉華集成電路有限公司
• 主分類號(hào): H01L27/108
• 分類號(hào): H01L27/108
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 陳小雯

1.一種動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器元件，其特征在于包含：

基底，包含第一主動(dòng)區(qū)，其中該第一主動(dòng)區(qū)沿著一第一方向延伸；

二埋入式字線，設(shè)置于該基底中且跨設(shè)該第一主動(dòng)區(qū)，其中該二埋入式字線沿著一第二方向延伸；

位線接觸插塞，設(shè)置于該基底上且重疊該二埋入式字線之間的該第一主動(dòng)區(qū)，其中一第一邊、一第二邊、一第三邊以及一第四邊圍繞成該位線接觸插塞，且該第一邊平行該第三邊而沿著一第三方向延伸，該第二邊平行該第四邊而沿著一第四方向延伸，其中該第一方向平行該第三方向且該第二方向平行該第四方向，該第一邊及該第三邊不重疊該第一主動(dòng)區(qū)，因而該位線接觸插塞包含一主體部分重疊該第一主動(dòng)區(qū)以及二副翼部分不重疊該第一主動(dòng)區(qū)。

2.依據(jù)權(quán)利要求1所述的動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器元件，其特征在于，該基底包含二主動(dòng)區(qū)位于該第一主動(dòng)區(qū)兩側(cè)且該二主動(dòng)區(qū)平行該第一主動(dòng)區(qū)。

3.依據(jù)權(quán)利要求2所述的動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器元件，其特征在于，該第一邊位于該第一主動(dòng)區(qū)以及其中一該二主動(dòng)區(qū)之間，且該第三邊位于該第一主動(dòng)區(qū)以及另一該二主動(dòng)區(qū)之間。

4.依據(jù)權(quán)利要求3所述的動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器元件，其特征在于，該第一邊位于該第一主動(dòng)區(qū)以及其中一該二主動(dòng)區(qū)之間的中線，且第三邊位于該第一主動(dòng)區(qū)以及另一該二主動(dòng)區(qū)之間的中線。

5.依據(jù)權(quán)利要求2所述的動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器元件，其特征在于，該第一主動(dòng)區(qū)以及該二主動(dòng)區(qū)以一絕緣結(jié)構(gòu)隔絕。

6.依據(jù)權(quán)利要求5所述的動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器元件，其特征在于，該第一邊與該第三邊直接位于該絕緣結(jié)構(gòu)上。

7.依據(jù)權(quán)利要求1所述的動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器元件，其特征在于，該位線接觸插塞重疊該二埋入式字線之間的全部的該第一主動(dòng)區(qū)。

8.依據(jù)權(quán)利要求1所述的動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器元件，其特征在于，該第二邊直接位于其中一該二埋入式字線上，且該第四邊直接位于另一該二埋入式字線上。

9.依據(jù)權(quán)利要求8所述的動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器元件，其特征在于，該第二邊直接位于其中一該二埋入式字線的中線上，且該第四邊直接位于另一該二埋入式字線的中線上。

10.依據(jù)權(quán)利要求1所述的動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器元件，其特征在于，該第一方向與該第二方向之間的夾角為70°～75°。

11.依據(jù)權(quán)利要求10所述的動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器元件，其特征在于，該第一方向與該第二方向之間的夾角為71.2°。

12.依據(jù)權(quán)利要求1所述的動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器元件，其特征在于還包含:

位線柵極包含該位線接觸插塞，其中該位線柵極設(shè)置于該基底上且沿著一第五方向延伸。

13.依據(jù)權(quán)利要求12所述的動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器元件，其特征在于，該第二方向垂直該第五方向。

14.依據(jù)權(quán)利要求1所述的動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器元件，其特征在于還包含:

存儲(chǔ)節(jié)點(diǎn)接觸插塞，緊鄰該位線接觸插塞設(shè)置。

15.依據(jù)權(quán)利要求14所述的動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器元件，其特征在于，該位線接觸插塞的一深度為350納米～450納米，而該存儲(chǔ)節(jié)點(diǎn)接觸插塞的一深度為250納米～350納米。