[發明專利]面板及其制造方法

有效

• 申請號: 201710223397.4
• 申請日: 2017-04-07
• 公開（公告）號: CN106990882B
• 公開（公告）日: 2020-03-06
• 發明（設計）人: 裴鍇
• 申請（專利權）人: 友達光電股份有限公司
• 主分類號: G06F3/044
• 分類號: G06F3/044
• 代理公司: 北京市立康律師事務所 11805
• 代理人: 梁揮;孟超

本發明提供一種面板及其制造方法，該方法包含形成第一導電圖案，第一導電圖案包含第一部分及第二部分、形成第二導電圖案，第二導電圖案橋接第一部分及第二部分、以及熱處理絕緣材料的遮罩圖案，使遮罩圖案成為絕緣圖案而實質上覆蓋第二導電圖案的側表面。本發明同時提供一種由上述方法制造的面板，其中絕緣圖案的外側面以及與第二導電圖案鄰接的內側面的水平距離為小于3微米。

技術領域

本發明一般關于一種面板及其制造方法，具體而言，本發明關于一種簡化制程并改善反光的面板及其制造方法。

背景技術

觸控式面板依照感測原理的不同可區分為電阻式觸控面板、電容式觸控面板、光學式觸控面板、聲波式觸控面板以及電磁式觸控面板等。由于電容式觸控面板具有反應時間快、靈敏度高、可靠度佳以及耐用度高等優點，因此，電容式觸控面板目前已經廣為使用。

電容式觸控面板的觸控線路主要有驅動線路(Tx)與感測線路(Rx)，分別水平與垂直交錯地密密麻麻的分布在整個面板。驅動線路與感測線路形成電容結構，并經由觸控造成的電容大小變化而可計算出觸碰的位置。

依照組成方式，電容式觸控面板可分為外貼式與內建式(整合式)兩種。外貼式的電容式觸控面板通常是先將觸控線路先制作于觸控基板上，再將此已制作有觸控線路的觸控基板貼附于顯示器的外表面上。內建式電容式觸控面板一般將觸控線路整合于顯示器的彩色濾光基板結構中。然而，現有將觸控線路整合于彩色濾光基板結構的方法通常在金屬線路完成后，還需要額外的光罩程序形成遮光層，以改善金屬線路的反光問題，更增加了制程的復雜度與困難度。

因此，如何簡化觸控線路的制造程序，同時進一步解決金屬線路的反光問題為觸控面板設計的重要研發方向之一。

發明內容

本發明的一目的在于提供一種面板及其制造方法，其使圖案化步驟所用的遮罩圖案作為隔絕相鄰導電電極的橋接部的絕緣層，以有效簡化觸控線路的制程步驟。

本發明的另一目的在于提供一種面板及其制造方法，其使圖案化步驟所用的遮罩圖案作為金屬線路的遮光層，以有效簡化制程步驟、節省材料成本并改善金屬線路的反光。

本發明的另一目的在于提供一種面板及其制造方法，其利用周邊電路的金屬層作為相鄰導電電極的橋接部，有效降低阻值。

于一實施例中，本發明提供一種面板的制造方法，其包含形成第一導電圖案，第一導電圖案包含第一部分及第二部分；形成第二導電圖案，第二導電圖案橋接第一部分及第二部分；以及熱處理絕緣材料的遮罩圖案，使遮罩圖案成為絕緣圖案而實質上覆蓋第二導電圖案的側表面。

于一實施例中，形成第二導電圖案的步驟包含形成第二導電層于第一導電圖案上，以覆蓋第一部分及第二部分；形成遮罩圖案于第二導電層上，遮罩圖案定義第二導電圖案；以及以遮罩圖案為遮罩，蝕刻第二導電層，以形成第二導電圖案。

于一實施例中，蝕刻第二導電層包含濕蝕刻第二導電層，使第二導電圖案較遮罩圖案內縮以于遮罩圖案下形成一底切空間。

于一實施例中，熱處理遮罩圖案包含熱回流遮罩圖案，以填充底切空間。

于一實施例中，底切空間未被絕緣材料填滿，以形成至少一剩余空間于絕緣圖案的側邊與第二導電圖案的側邊的鄰近處。

于另一實施例中，本發明提供一種由上述方法制造的面板，其中絕緣圖案的外側面以及與第二導電圖案鄰接的內側面的水平距離為小于3微米。