[發明專利]面板及其制造方法有效
| 申請號: | 201710223397.4 | 申請日: | 2017-04-07 |
| 公開(公告)號: | CN106990882B | 公開(公告)日: | 2020-03-06 |
| 發明(設計)人: | 裴鍇 | 申請(專利權)人: | 友達光電股份有限公司 |
| 主分類號: | G06F3/044 | 分類號: | G06F3/044 |
| 代理公司: | 北京市立康律師事務所 11805 | 代理人: | 梁揮;孟超 |
| 地址: | 中國臺灣新竹科*** | 國省代碼: | 臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 面板 及其 制造 方法 | ||
1.一種面板的制造方法,其特征在于,包含:
形成一第一導電圖案,該第一導電圖案包含一第一部分及一第二部分;
形成一第二導電圖案,該第二導電圖案橋接該第一部分及該第二部分;以及
熱處理一絕緣材料的一遮罩圖案,使該遮罩圖案成為一絕緣圖案而實質上覆蓋該第二導電圖案的側表面;
其中,該第二導電圖案包含一第一橋接部,該第一橋接部橋接該第一部分及該第二部分,該絕緣圖案包含一第一絕緣部,該第一絕緣部位于該第一橋接部上且實質覆蓋該第一橋接部的側表面。
2.如權利要求1所述的制造方法,其特征在于,形成該第二導電圖案的步驟包含:
形成一第二導電層于該第一導電圖案上,以覆蓋該第一部分及該第二部分;
形成該遮罩圖案于該第二導電層上,該遮罩圖案定義該第二導電圖案;以及
以該遮罩圖案為遮罩,蝕刻該第二導電層,以形成該第二導電圖案。
3.如權利要求2所述的制造方法,其特征在于,蝕刻該第二導電層包含濕蝕刻該第二導電層,使該第二導電圖案較該遮罩圖案內縮以于該遮罩圖案下形成一底切空間。
4.如權利要求3所述的制造方法,其特征在于,熱處理該遮罩圖案包含熱回流該遮罩圖案,以填充該底切空間。
5.如權利要求4所述的制造方法,其特征在于,該底切空間未被該絕緣材料填滿,以形成至少一剩余空間于該絕緣圖案的一側邊與該第二導電圖案的側邊的鄰近處。
6.一種面板,其特征在于,包含:
一第一導電圖案,包含一第一部分及一第二部分;
一第二導電圖案,橋接該第一部分及該第二部分;
一絕緣圖案,位于該第二導電圖案上且實質覆蓋該第二導電圖案的側表面,其中該絕緣圖案的一外側面以及與該第二導電圖案鄰接的一內側面的水平距離為小于3微米;以及
一第三導電圖案;
其中該第一導電圖案還包含一第三部分及一第四部分,該第三導電圖案至少部分跨置于該絕緣圖案上,且該第三導電圖案電連接該第三部分及該第四部分。
7.如權利要求6所述的面板,其特征在于,該第二導電圖案包含一第一橋接部,該第一橋接部橋接該第一部分及該第二部分,該絕緣圖案包含一第一絕緣部,該第一絕緣部位于該第一橋接部上且實質覆蓋該第一橋接部的側表面,該第一絕緣部的外側面與該第一橋接部相鄰的內側面的水平距離為小于3微米,該面板還包含一第三導電圖案,其中該第三導電圖案包含兩個第一感應部、兩個第二感應部及一第二橋接部,該兩個第一感應部分別電連接該第一部分及該第二部分,該第二橋接部至少部分跨置于該第一絕緣部上,且該第二橋接部連接該兩個第二感應部。
8.如權利要求7所述的面板,其特征在于,該第一導電圖案及該第三導電圖案包含透明導電材料。
9.如權利要求7所述的面板,其特征在于,該第一導電圖案還包含一第三部分及一第四部分,該第二導電圖案還包含一線路部,該線路部連接該第三部分及該第四部分,且該絕緣圖案還包含一第二絕緣部,該第二絕緣部位于該線路部上且實質覆蓋該線路部的側表面。
10.如權利要求9所述的面板,其特征在于,該第三導電圖案還包含一連接部及一接墊部,該連接部連接該第三部分與該兩個第一感應部其中之一,該接墊部電連接該第四部分。
11.如權利要求6所述的面板,其特征在于,該第一導電圖案包含透明導電材料,且該第三導電圖案包含透明導電材料或金屬材料。
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