1.一種碳?xì)湟涸砘逑垂に?，其特征在于，包括如下步驟：

真空超聲波皂化清洗：將工件置于溫度為25～50℃的清洗劑中，同時(shí)將頻率為28KHz、大小為60～100％的超聲波接入清洗劑中，交替地進(jìn)行真空清洗和入氣清洗，真空清洗的條件為真空度-80Kpa，清洗時(shí)間5～20s，入氣清洗條件為標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下清洗時(shí)間為10～30s,真空清洗和入氣清洗的總時(shí)間為240～360s；

真空超聲波碳?xì)淝逑矗簩⒐ぜ糜跍囟葹?0～50℃的碳?xì)淝逑磩┲?，同時(shí)將頻率為28KHz、大小為60～100％的超聲波接入碳?xì)淝逑磩┲校惶娴剡M(jìn)行真空清洗和入氣清洗，真空清洗的條件為真空度-75Kpa，清洗時(shí)間5～20s，入氣清洗條件為標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下清洗時(shí)間為10～30s,真空清洗和入氣清洗的總時(shí)間為240～360s；

蒸汽浴洗與干燥：在真空度為-90Kpa的條件下，先將工件置于溫度為90～110℃的碳?xì)湔羝羞M(jìn)行蒸汽浴洗，清洗時(shí)間為30～60s，完成蒸汽浴洗后，調(diào)整真空度為-100Kpa，并在溫度為90～110℃條件下干燥300～720s；

其中，所述真空超聲波皂化清洗重復(fù)次數(shù)為3，所述真空超聲波碳?xì)淝逑春驼羝∠磁c干燥重復(fù)次數(shù)均為2，真空超聲波皂化清洗步驟中的清洗劑為G-100W碳?xì)湓砘瘎?，真空超聲波碳?xì)淝逑床襟E和蒸汽浴洗與干燥中的清洗劑均為G-100碳?xì)淝逑磩?/p>

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的碳?xì)湟涸砘逑垂に嚕涮卣髟谟?，所述真空超聲波碳?xì)淝逑床襟E中的清洗工件后的廢液經(jīng)真空蒸餾回收步驟回收并回流至真空超聲波碳?xì)淝逑粗小?/p>

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的碳?xì)湟涸砘逑垂に?，其特征在于，所述真空蒸餾回收步驟為：首先收集并儲(chǔ)存真空超聲波清洗后的廢液，再經(jīng)過(guò)過(guò)濾，將剝離下來(lái)的大部分油脂和臟污從廢液中分離出來(lái)，最后經(jīng)過(guò)真空蒸餾，利用碳?xì)淝逑磩┖团K污的沸點(diǎn)差將碳?xì)淝逑磩┡c臟污分離，蒸餾過(guò)程中的碳?xì)淝逑磩┬纬烧羝?，?jīng)冷凝后儲(chǔ)存，作為真空超聲波碳?xì)淝逑粗械奶細(xì)淝逑磩?/p>

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的碳?xì)湟涸砘逑垂に嚕涮卣髟谟?，所述兩次真空超聲波碳?xì)淝逑礊榍?、后不同位置上依次序的兩個(gè)清洗步驟，第一次真空超聲波碳?xì)淝逑粗械奶細(xì)淝逑磩┙?jīng)過(guò)蒸餾回收步驟的儲(chǔ)存、蒸餾回收后作為第二次真空超聲波碳?xì)淝逑粗械奶細(xì)淝逑磩?，而第二次真空超聲波碳?xì)淝逑粗械奶細(xì)淝逑磩﹦t部分回流作為第一次真空超聲波碳?xì)淝逑粗械那逑磩?/p>

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的碳?xì)湟涸砘逑垂に?，其特征在于，所述蒸汽浴洗與干燥步驟中清洗工件后的碳?xì)淝逑磩┑恼羝ㄟ^(guò)冷凝回收步驟回收，回收后的碳?xì)淝逑磩┳鳛檎婵粘暡ㄌ細(xì)淝逑吹奶細(xì)淝逑磩?/p>