[發明專利]硬掩模用組合物

有效

• 申請號: 201710220902.X
• 申請日: 2017-04-06
• 公開（公告）號: CN107340687B
• 公開（公告）日: 2022-01-25
• 發明（設計）人: 崔漢永;梁敦植;金相泰;成始震
• 申請（專利權）人: 東友精細化工有限公司
• 主分類號: G03F7/11
• 分類號: G03F7/11
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 鐘晶;鐘海勝

1.一種硬掩模組合物，其包含分子內含有兩個以上叔醇基的化合物和溶劑，

所述化合物為選自由下述化學式1～化學式3所表示的化合物組成的組中的至少一種：

化學式1

式中，n為1～10，

R₁和R₂各自獨立地為碳原子數1～6的脂肪族烴基或碳原子數6～20的芳基，

Ar₁各自獨立地為碳原子數6～20的亞芳基，

Ar₂和Ar₃各自獨立地為碳原子數6～20的芳基，

所述Ar₁、Ar₂、Ar₃、R₁和R₂可各自獨立地被-OH、-OR_a、-OAr_a、-R_a、-Ar_a進一步取代，所述-R_a為碳原子數1～6的脂肪族烴基，所述-Ar_a為碳原子數6～20的芳基，

化學式2

式中，n為2～10，

R₃各自獨立地為碳原子數1～6的脂肪族烴基或碳原子數6～20的芳基，

Ar₄為n個氫原子可被取代的碳原子數6～20的芳基，

Ar₅各自獨立地為碳原子數6～20的芳基，

所述R₃、Ar₄和Ar₅可各自獨立地被-OH、-OR_a、-OAr_a、-R_a、-Ar_a進一步取代，所述-R_a為碳原子數1～6的脂肪族烴基，所述-Ar_a為碳原子數6～20的芳基，

化學式3

式中，R₄和R₅各自獨立地為碳原子數1～6的脂肪族烴基或碳原子數6～20的芳基，

Ar₆和Ar₇各自獨立地為碳原子數6～20的亞芳基，

所述R₄、R₅、Ar₆和Ar₇可各自獨立地被-OH、-OR_a、-OAr_a、-R_a、-Ar_a進一步取代，所述-R_a為碳原子數1～6的脂肪族烴基，所述-Ar_a為碳原子數6～20的芳基。

2.根據權利要求1所述的硬掩模組合物，所述Ar₁、Ar₆和Ar₇各自獨立地為亞苯基、萘二基、蒽二基、芪二基或芘二基。

3.根據權利要求1所述的硬掩模組合物，所述Ar₂、Ar₃和Ar₅各自獨立地為苯基、萘基、蒽基、芪基或芘基。

4.根據權利要求1所述的硬掩模組合物，所述Ar₄為苯基、萘基、蒽基、芪基或芘基。

5.根據權利要求1所述的硬掩模組合物，所述R₁～R₅各自獨立地為甲基、乙烯基、烯丙基或苯基。

6.根據權利要求1所述的硬掩模組合物，組合物總重量中，包含所述化合物10～70重量％、所述溶劑30～90重量％。

7.根據權利要求1所述的硬掩模組合物，其進一步包含交聯劑和催化劑中的至少一種。