[發明專利]靶坯及其加工方法

有效

• 申請號: 201710219935.2
• 申請日: 2017-04-06
• 公開（公告）號: CN108687488B
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;相原俊夫;王學澤;徐禮升
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B23P15/00
• 分類號: B23P15/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 吳敏

1.一種靶坯的加工方法，所述靶坯包括：位于所述靶坯內的凹槽和凸臺，所述凹槽表面和凸臺表面作為濺射面，還包括：與所述濺射面相對的背面、以及位于所述濺射面和背面之間的側壁；所述凹槽包括位于所述濺射面中心的第一凹槽、環繞所述第一凹槽的環形第二凹槽、以及環繞所述第二凹槽的環形第三凹槽，且所述第三凹槽貫穿所述側壁，其特征在于，包括：

提供靶坯，所述靶坯包括待加工面；

對所述待加工面進行機械加工，在所述靶坯內形成凹槽和凸臺，機械加工后的所述凹槽表面和凸臺表面作為濺射面；

對所述待加工面進行機械加工的步驟中，在所述靶坯內形成多個呈同心排布的凹槽，所述凹槽之間相互間隔，且在相鄰所述凹槽之間形成多個呈同心排布的凸臺；所述凹槽的剖面形狀是倒梯形，所述凸臺的剖面形狀為梯形；

對所述待加工面進行機械加工的步驟包括：采用第一刀具對所述待加工面進行粗車加工；所述粗車加工的參數包括：切削速度為110毫米/分鐘至130毫米/分鐘，進給量為0.1毫米/轉至0.3毫米/轉，吃刀量為0.2毫米至0.4毫米，所述靶坯的轉速為500轉/分鐘至700轉/分鐘；

采用第二刀具，對所述待加工面進行精車加工；所述精車加工的參數包括：切削速度為30毫米/分鐘至40毫米/分鐘，進給量為0.04毫米/轉至0.06毫米/轉，吃刀量為0.01毫米至0.02毫米，所述靶坯的轉速為600轉/分鐘至800轉/分鐘；

所述第一刀具包括刀桿以及固定于所述刀桿上的第一刀片，所述刀桿的后角角度為30°至35°；

所述第一刀片的切削刃角度為35°；

所述第一刀片的后角角度為35°至40°；

所述第二刀具包括刀桿以及固定于所述刀桿上的第二刀片，所述刀桿的后角角度為30°至35°；

所述第二刀片的切削刃角度為35°；

所述第二刀片的后角角度為35°至40°。

2.如權利要求1所述的靶坯的加工方法，其特征在于，所述第二刀片的材料為金剛石。