[發明專利]用于檢測解凍操作完成的設備和方法有效
| 申請號： | 201710217543.2 | 申請日： | 2017-04-05 |
| 公開（公告）號： | CN107688118B | 公開（公告）日： | 2020-12-08 |
| 發明（設計）人： | 詹姆斯·埃里克·斯科特;賈里米·西蒙;邱小飛;利昂內爾·蒙然;皮埃里·馬里·讓·皮埃爾 | 申請（專利權）人： | 恩智浦美國有限公司 |
| 主分類號： | G01R21/00 | 分類號： | G01R21/00;A23L3/365 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 倪斌 |
| 地址： | 美國德*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 檢測 解凍 操作 完成 設備 方法 | ||
1.一種對定位在熱增加系統的腔室內的裝料執行熱增加操作的方法，其特征在于，所述方法包括：
由射頻(RF)信號源通過傳輸路徑將RF信號提供到接近于所述腔室的電極；
反復地獲得沿著所述傳輸路徑的前向RF功率測量值和反射RF功率測量值，計算所述反射RF功率測量值與所述前向RF功率測量值的多個比率，并將所述多個比率與閾值比率相比較；
當所述反射RF功率測量值與所述前向RF功率測量值的比率大于所述閾值比率時，在所述RF信號源與所述電極之間重新配置一個可變阻抗匹配網絡以提高所述RF信號源與所述腔室以及所述裝料之間的匹配，并將所述比率降到低于所述閾值比率；
反復地確定可變阻抗匹配網絡被重新配置處的頻率；
反復地比較所述頻率與閾值頻率；
當作出所述頻率不大于所述閾值頻率的確定時，初始化計時器并監控所述RF信號源繼續提供所述RF信號的時間量；
繼續將所述RF信號提供到所述電極，直到作出所述計時器失效的確定；以及
當作出所述計時器失效的所述確定時，終止所述RF信號到所述電極的提供。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述閾值頻率是與具有在高原溫度范圍內的溫度的所述裝料一致的頻率。
3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，所述高原溫度范圍包括在-16℃和-3℃之間的溫度范圍。
4.一種熱增加系統，其被配置成對定位在所述熱增加系統的腔室內的裝料執行熱增加操作，其特征在于，所述系統包括：
射頻(RF)信號源，其被配置成產生RF信號；
傳輸路徑，其在所述RF信號源和定位成接近于所述腔室的電極之間，其中所述傳輸路徑被配置成將所述RF信號從所述RF信號源傳達到所述電極；
沿著傳輸路徑的可變阻抗匹配網路；
功率檢測電路，其耦合到所述傳輸路徑且被反復地配置成獲得沿著所述傳輸路徑的前向RF功率測量值和反射RF功率測量值；以及
系統控制器，其耦合到所述功率檢測電路，其中所述系統控制器被配置成
反復計算所述反射RF功率測量值與所述前向RF功率測量值的多個比率，并將所述多個比率與閾值比率相比較，
當所述反射RF功率測量值與所述前向RF功率測量值的比率大于所述閾值比率時，在所述RF信號源與所述電極之間重新配置一個可變阻抗匹配網絡以提高所述RF信號源與所述腔室以及所述裝料之間的匹配，并將所述比率降到低于所述閾值比率；
反復地確定可變阻抗匹配網絡被重新配置處的頻率；
反復地比較所述頻率與閾值頻率；
當作出所述頻率不大于所述閾值頻率的確定時，初始化計時器并監控所述RF信號源繼續提供所述RF信號的時間量；
其中繼續將所述RF信號提供到所述電極，并且直到所述系統控制器作出所述計時器失效的確定；以及
所述系統控制器被配置成當所述系統控制器作出所述計時器失效的所述確定時，使所述RF信號源終止所述RF信號到所述電極的提供。
5.根據權利要求4所述的系統，其特征在于：
所述RF信號源被配置成產生所述RF信號作為具有在3.0兆赫茲和300兆赫茲之間的頻率的振蕩信號。
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