[發明專利]基板搬運裝置、基板處理裝置以及結露抑制方法

有效

• 申請號: 201710214125.8
• 申請日: 2017-04-01
• 公開（公告）號: CN107275271B
• 公開（公告）日: 2023-04-14
• 發明（設計）人: 鈴木憲一;小菅隆一;斎藤賢一郎
• 申請（專利權）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 肖華

1.一種基板搬運裝置，其特征在于，包括：

基板把持部，該基板把持部對基板進行把持；

筐體；以及

驅動機構，該驅動機構的、至少一部分設于所述筐體內，并使用空氣對所述基板把持部進行驅動，

所述驅動機構具有：

氣缸，該氣缸設于所述筐體內，并驅動所述基板把持部；以及

配管，該配管的至少一部分設于所述筐體內，所述配管向所述氣缸供給用于驅動所述基板把持部的空氣，并向所述筐體內供給空氣，所述配管包括：

第一配管，該第一配管在所述基板把持部把持基板時被加壓；以及

第二配管，該第二配管在所述基板把持部未把持基板時被加壓，

從所述第二配管向所述筐體與所述氣缸之間供給空氣。

2.一種基板搬運裝置，其特征在于，包括：

基板把持部，該基板把持部對基板進行把持；

筐體；以及

驅動機構，該驅動機構的、至少一部分設于所述筐體內，并使用空氣對所述基板把持部進行驅動，

所述驅動機構能向所述筐體內供給空氣，

所述基板把持部包括能打開關閉的一對支承臂，

所述驅動機構具有：

氣缸，該氣缸設于所述筐體內，并利用空氣使所述一對支承臂打開關閉；以及

配管，該配管向所述氣缸供給空氣，

所述配管包括：

第一配管，該第一配管在所述基板把持部把持基板時被加壓；以及

第二配管，該第二配管在所述基板把持部未把持基板時被加壓，

從所述第二配管向所述筐體與所述氣缸之間供給空氣。

3.如權利要求1或2所述的基板搬運裝置，其特征在于，

包括設于所述配管的節流孔。

4.如權利要求1或2所述的基板搬運裝置，其特征在于，

包括設于所述配管的過濾器，

經由所述過濾器向所述筐體內供給空氣。

5.一種基板處理裝置，其特征在于，包括：

研磨單元、清洗單元及干燥單元；以及

在各單元之間搬運基板的權利要求1或2所述的基板搬運裝置。

6.一種結露抑制方法，抑制在權利要求1或2所述的基板搬運裝置產生結露，其特征在于，

也將用于驅動基板把持部的空氣供給至基板搬運裝置的筐體，所述基板把持部構成為對基板進行把持。