[發明專利]含銅堿性蝕刻液循環再生回用設備及方法

在審

• 申請號: 201710213366.0
• 申請日: 2017-04-01
• 公開（公告）號: CN107059010A
• 公開（公告）日: 2017-08-18
• 發明（設計）人: 王成青
• 申請（專利權）人: 東莞市青玉環保設備科技有限公司
• 主分類號: C23F1/46
• 分類號: C23F1/46;C23F1/08;C25C1/12;C25C7/02
• 代理公司: 廈門市新華專利商標代理有限公司35203
• 代理人: 吳成開,徐勛夫

1.一種含銅堿性蝕刻液循環再生回用設備，其特征在于：包括有

一蝕刻機，蝕刻機產生含銅堿性蝕刻廢液；

一廢液收集缸，廢液收集缸用于收集蝕刻機產生的含銅堿性蝕刻廢液；

一廢液儲罐，由一第一污水泵將廢液收集缸內的含銅堿性蝕刻廢液抽入廢液儲罐中進行存儲；

一循環槽，由一第二污水泵將廢液儲罐內的廢液經第一管道抽入循環槽中，循環槽起保持電解液溫度恒定和使電解液銅離子濃度均勻的作用；

一電解槽，電解槽的內頂部通過第二管道連通循環槽的內頂部，廢液采用電沉積銅工藝電解得到銅板，電解后的電解液成為再生液,電解槽內具有陽極和陰極，陽極為石墨板，該陰極為不銹鋼板；

一再生液儲罐，由一第一高壓泵將循環槽內的再生液經第三管道抽入再生液儲罐內進行存儲，同時第一高壓泵的輸出口連通電解槽，以及由第二高壓泵將循環槽內的再生液經第四管道抽入再生液儲罐內進行存儲；

一調藥缸，由一第三高壓泵將再生液儲罐內的再生液經第五管道抽入調藥缸內，調藥缸對再生液參數進行調配成為再生子液，第三高壓泵還將部分再生液抽回循環槽中，構成一循環；

一再生子液儲罐，由一第一液泵將調藥缸內的再生子液經第六管道抽入再生子液儲罐中進行儲存，儲存的再生子液由一第二液泵經第七管道抽入蝕刻機內進行循環使用。

2.根據權利要求1所述的含銅堿性蝕刻液循環再生回用設備，其特征在于：所述廢液收集缸中安裝有液位感應器，該液位感應器控制上述第一污水泵將廢液收集缸中的廢液抽入廢液儲罐中。

3.根據權利要求1所述的含銅堿性蝕刻液循環再生回用設備，其特征在于：所述循環槽中安裝有起恒溫作用的鈦冷卻管。

4.根據權利要求1所述的含銅堿性蝕刻液循環再生回用設備，其特征在于：所述不銹鋼板為316不銹鋼板。

5.根據權利要求1所述的含銅堿性蝕刻液循環再生回用設備，其特征在于：所述電解槽上安裝有廢氣排放管路，廢氣排放至廢氣吸收塔酸堿中和噴淋處理。

6.根據權利要求1所述的含銅堿性蝕刻液循環再生回用設備，其特征在于：所述再生子液儲罐中安裝有控制再生子液添加的比重控制儀。

7.一種含銅堿性蝕刻液循環再生方法，其特征在于，采用如權利要求書1至6任一項所述的含銅堿性蝕刻液循環再生回用設備，包括以下步驟：

（1）收集：對蝕刻機產生的含銅的堿性蝕刻液回收至廢液收集缸和廢液儲罐中；

（2）調配：廢液儲罐中的廢液抽入循環槽中進行恒溫和使廢液中的銅離子濃度均勻處理；

（3）電解：將循環槽內的廢液抽入電解槽內，然后采用“電沉積銅”工藝將含銅堿性蝕刻廢液通過電解沉積出高純度的電解銅，廢液電解生成再生液；

（4）調整酸堿值：電解后的再生液存儲在再生液儲罐中，再生液儲罐中的再生液抽入調藥缸中，通過加入蝕板鹽、液氨和堿性蝕刻添加劑使再生液再生得到再生子液；

（5）回用：再生子液存儲在再生子液儲罐內，再生子液被抽入蝕刻機內進行循環使用。